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第 l2卷 第 6期 重庆科技学院学报 (自然科学版) 2010年 l2月 HP4287A型LCR测量原理及其误差分析 周 坤 (江苏省交通规划设计院，南京210005) 摘 要：根据射频阻抗测量仪的工作原理及技术特性，分析测量仪的二端配置和测试夹具所带来的残余阻抗 、残余电 感和噪声等所产生的误差 ，并根据不同的误差因素提出相应校准和补偿处理方法 。 关键词：阻抗 ；补偿 ；校准 中图分类号 ：THl6l 文献标识码：A 文章编号：1673—1980(2010)06-0138—03 阻抗是给定频率下对流经器件或 电路交流电流 和测试端口组成。测量电路和50Q的特性阻抗相匹 的总抵抗能力。同时也是评测电路、元件以及制作元 配，以保证高频时的最佳精度 。测试端 口使用501~特 件材料的重要参数 。准确测量阻抗十分重要 ，尤其 性阻抗的精密同轴连接器。由于测试 电流流过的传 是射频阻抗的测量 。射频阻抗受环境条件 、测试夹 感器与接到测试端口的被测件相串联，因而互感器 具等因素的影响较大，笔者在此主要讨论射频阻抗 绕组上的电压也可测。V通道信号 代表被测件上 的测量原理及其误差分析 。 的电压降，I通道信号E。代表被测件的电流。 1 射频阻抗测试仪 的工作原理 矢量比检波器部分与 自动平衡电桥法有类似的 电路配置。V，I输人多路转换器交替选择E 。和E。信 HP4287A型LCR表是美 国Agilent公司近年推出 号 ，因而可用同一矢量 比检波器测量这两个矢量 电 的一种先进的LCR~R]量仪器 ．它采用阻抗射频I—V法 压，从而避免了跟踪误差。依据公式，Zx=5O(E~o， )， 测试阻抗。这是一种在高频范围测量阻抗参数的先 从所测的两个电压之比导出被测器件的阻抗。为了 进技术 ．频率覆盖范围超过 自动平衡电桥法，并且能 更方便地进行矢量测量，混频器电路将E 和 信号 提供更高的精度和更宽的阻抗范围。在这里我们通 过图l所示的射频I—V法简化框图讨论其工作原理。 频率变频到适于模数转换器工作速度 的IF频率 。在 实际情况下，使用两到三次的IF变换 ，以得到无寄生 参数的IF信号。模数转换器把各矢量 电压转换成数 字量 ，并通过数字技术写成 0。和 900分量 。 2 射频阻抗测量仪HP4287A的技术特性 HP4287A射频LCR测试仪在 1MHz～3GHz频率 范围可以进行精确、可靠 、快速的测量 ，以改进生产 线上对电子元件进行测试的质量和生产率。与反射 图1 射频I—V法的简化框图 测量技术不同，采用直流电压测量技术能在较大阻 信号源部分产生施加到被测器件 的测试信号， 抗范围进行精确测量 。 其频率范围可从1MHz变到3GHz。通常使用频率合