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(Modern Manufacturing Engineering) 2013 3
试验研究 现代制造工程 年第 期
*
半导体制造过程R2R 控制方法研究进展
1 2 1
, ,
王亮 胡静涛 王志艳
(1 , 110 142 ;
沈阳化工大学计算机科学与技术学院 沈阳
2 , 1100 16)
中科院沈阳自动化所工业信息学重点实验室 沈阳
: 、 ,
摘要 随着半导体器件关键尺寸的不断减小 集成度的不断提高和晶圆直径的不断增大 半导体制造过程变得越来越复
, 。 Run-to-Run (R2R)
杂 对半导体制造装备及其自动化水平要求越来越高 半导体制造过程 控制器的性能直接决定半导
、 , R2R 。
体产品的良率 再工次数和产能 所以对半导体制造过程 控制方法的研究具有重要的意义 首先对半导体制造的
R2R , R2R , R2R
主要过程和 控制方法的原理进行介绍 然后对各种主要的 控制方法进行综述和分析 最后对 控制方法未
来的研究方向进行探讨。
: ; ;R2R ; ;
关键词 半导体制造 过程控制 控制方法 指数加权移动平均 预测控制
中图分类号:TP202 文献标志码:A 文章编号:167 1—3133 (2013)03—0004—08
Research development of R2R control methods for semiconductor
manufacturing process
Wang Liang1 ,Hu Jingtao2 ,Wang Zhiyan1
(1 Shenyang University of Chemical Technology ,Shenyang 110 142 ,China ;2 Key Laboratory of Industrial
Informatics ,Shenyang Institute of Automation ,Chinese Academy of Sciences ,Shenyang 1100 16 ,China)
Abstract :Wit
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