原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 17卷第6期 功能材料与器件学报 V0】．17．No．6
2011年 l2月 JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSAND DEVICES Dec．，201l
文章编号：1007—4252(2011)06—0538—05
Zn／Sb复合薄膜材料的制备及其在低温下的热电性能研究
疏敏，王学生，代晶晶，戚学贵
(华东理工大学机械与动力工程学院 上海 200237)
摘要：采用磁控溅射的方法，两个单靶依次在 si(100)基底上循环5次溅射制备 了Zn／Sb多层复
合纳米薄膜 ，并研究了固定调制周期为40nm时，zn和 Sb的调制 比分别为 1：1、3：2和4：1的三种
情况下，Zn／Sb复合薄膜的Seebeck系数、电导率和功率因子在 160K一250K温度范围内随温度的
变化情况。采用XRD、AFM对其结构和表面形貌进行分析，发现制备的薄膜表面光滑、致密，无大
颗粒，呈现出晶面择优生长的现象。实验结果表明：当调制比为4：1时，Zn／Sb薄膜的功率因子最
高，且其最大值达到在 174K时的7543．541xW／mK，但随着温度的升高，其值迅速的下降，变化趋
势和幅度都很明显。关键词：Zn／Sb薄膜；磁控溅射；Seebeck系数；电导率
中图分类号： 文献标识码 ：A
ThePreparationandResearchonPerformanceofZn／Sb thin films
SHUMin，WANGXue—sheng，DAIJing-jing，QiXue—gui
(SchoolofMechanicalandPowerEngineering，
EastChinaUniversityofScienceandTechnology，Shanghai200237)
Abstract：TheZn／Sbmulti—layerthinfilmswerepreparedbymagnetronsputteringmethod，whichwas
sputteredon(100)Sifivetimesbytwosingletarget．ThevariationsoftheSeebeckcoefficient，theelec—
tricconductivityandthepowerfactorofthreeZn／Sbcompositefilms，whichwasofmodulationratioof1：
1，3：2and4：1respectivelyinafixedmodulationperiodof40nm，werestudiedinthetemperaturerange
from 160K to250K．AnalyzingthestructureandsurfaceappearancebyXRD andAFM，thefilm surface
wassmooth，dense，andwithoutanymacroparticles．Thegrainsofthefilmsgrowunderthepreferredori—
entations．Theexperimentresultsshowaobvioustrendthatthepowerfactordecreasewithincreasingtern—
perature．Thepowerfactorisatthehighestvalueof7543．54txW ／mK in174K，asthemodulationratio
is4：1． 。
Keywords：Zn／Sbthinfilm；magnetronsputtering；Seebeckcoefficient；electricconductivity
0 引言 热能转化为电能的全静态直接发电方式。与常见的
基于
文档评论（0）