Ta2O5SiO2硬膜双腔滤光片激光损伤特性研究.pdfVIP

第 32 卷 　第 3 期 中　 国 　激 　光 Vol . 32 , No . 3 　 2005 年 3 月 C H IN ESE J OU RN AL O F L A SER S March , 2005 　 　　文章编号 :(2005) Ta O /SiO 硬膜双腔滤光片激光损伤特性研究 2 5 2 高卫东 , 黄建兵 , 徐学科 , 赵元安 , 邵建达 , 范正修 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜中心 , 上海 20 1800) 摘要 　研究了 Ta O / SiO 硬膜双腔干涉滤光片带内、带边及带外的吸收和激光损伤特性. 实验发现 ,对于作用激 2 5 2 光 ,带通滤光片的驻波场分布 、吸收率和损伤阈值在带内、带边和带外的响应特性对作用激光波长均呈现出明显的 选择性. 根据实验结果 ,结合滤光片的驻波场分析 ,给出了带通滤光片的损伤机理. 关键词 　薄膜 ;损伤阈值 ;干涉滤光片 ;弱吸收 ;激光损伤机理 中图分类号 　O 484 . 5 　　　文献标识码 　A LaserInduced Damage of Ta O / SiO TwoCavity 2 5 2 NarrowBand Interf erence Filters GA O Weidong , HU AN G J ianbing , XU Xueke , Z HA O Yuanan , SHA O J ianda , FAN Zhengxiu ( R esea rch D evelop ment Cente r f or Op tical Thi n F i l ms , S hang hai I ns ti t ute of Op tics an d F i ne M echanics , T he Chi nese A ca demy of S ciences , S hang hai 20 1800 , Chi na) Abstract 　The laserinduce damage t hreshold (L ID T) of Ta O / SiO twocavit y narrowband int erference filt er s 2 5 2 wit h different cent ral wavelengt h wa s investigat ed wit h a N d ∶YA G la ser at 1064 nm under singlep ul se mo de , and t he ab sorp tion measurement of such coatings was al so p erformed by surface t hermal len sing ( STL ) t echnique . It i s found t hat t he narrowband int erference filt er s s