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维普资讯 第 10卷 第 7期 光 学 学 报 V01．10．N．o7 1990年 7月 A。TA 0PTIC日 8INICA July,1。口O 一 种测量光学元件高反射 (透过)率的有效方法 陈 亦 邵中兴 (吉林省激光研究所，长春) (中国科学院长春光学精密机械研究所) 提 要 本文提出一种副量激光谐振腔反射镱高反射率和测量镀有硪反膜的高透过牢光学元件 的有效 方 法． 特 点是同时测量几块高反射牢凹面镱或高透过率光学元件．其误差是普通单堍叫量方法的 冉． 详细分 析了一组激光腔铙高反射率和一蛆镀减反膜的平行薄片高透过牢的测量结果． 关键词：测量．高反射 (透过)率。 一 、 引 言 准确地测量光学元件的高反射率 (或透过率)对激光高反射膜和高增透膜的研制都是非 常必要的。近年来报道的测量高反射率 (或透过率)的方法有：用强度调制的激光束通过一 谐振腔，测量其输入与输出间相位差的办法 “一、用测量光在法布里一珀罗腔 中的衰减时间 和其它 方法。除这些特殊方法外，通常，测高反射率 (或透过率)方法是采用直接测量单 块被测镜反射 (或透射)的激光束方法，但是由于光源功率不够稳定而造成信噪比太差，或因 接收器在光强相差悬殊范围内响应不够或线性不好等诸因素，使得测量结果的准确性很 差， 甚至无法进行。本文提出一种 同时测量多块高反射率 (最好是同次镀膜的)激光腔镜的总反 射率，从而确定每块镜子的反射率，或同时测量多块高透过率的光学元件 (同次镀膜)的总透 过率再确定单个元件的透过率的有效方法。这样，在一般实验室条件下，测量绝对高反射率 或高透过率不仅成为可能，而且精度可靠。 二、测 量 方 法 设被测反射镜的反射率为 届 (或透过率 )，测量误差 (相应地透过率的测量误差 地 )，那么一般的单件测量反射率 的大小应为 一 。土AR， (1) 由于测量误差 来源于光源功率的起伏和测量系统的误差等，而与葡时测量的元件数 目无 关 故同时测量 块反射镜的总反射率为 = ± 皿。 那么，单块反射镜的反射率的潮 值量为 皿 = (犀士4 I／．。 (2) 收稿 日期：29S9年 Ⅱ 月 8日 维普资讯 7期 一种坝f最光学元件高反射(透过)率的有效方往 865 将 (2)式展成幂级数后有 +笔千 等士”)·， 计算表明 当 ％取适当大小时 (例如 10≤¨≤l00)则有 m卑 。士 【( ¨)+ ．]。 (3) 如果皿0．99，4嚣一O．01，余项 仅为 10 N10～。事实上，且 越接近 l，衄 越小。则 j矿 越小。由于 相当小，所以，(3)式可写为 m 。士 ( 。 (4) 由此可得被测镜子的反射率为 鼠一日 士 (衄 ／ 。 (1)式和 (4)式相比较 很明显 多次反射法的测量误差是一般单件测量法测量误差1 此外 (4