衬底温度对ZnO：Al薄膜结构和光透过性能的影响.pdfVIP

第 35卷第 4期 辽宁师范大学学报 (自然科学版) Vo1．35 NO．4 2012年 12月 JournalofLiaoningNormalUniversity(NaturalScienceEdition) Dec． 2Ol2 文章编号 ：1000—1735(2012)04-0478—04 衬底温度对ZnO：AI薄膜结构和光透过性能的影响 王玉新， 孙景昌， 郑亚茹， 王晓雪， 梁 鸣， 林茂魁， 崔 硕 (辽宁师范大学 物理与电子技术学院，辽宁 大连 116029) 摘 要 ：利用超声喷雾热解方法以不 同的沉积温度 (450～530℃)在石英衬底上制备 出 具备较高光学质量的ZnO：A1(AZO)薄膜．通过 x射线衍射谱 (XRD)研究 了薄膜的结 构，用扫描 电子显微镜 (SEM)研究 了薄膜的表面形貌，用紫外可见 (UV)分光光度计对 薄膜的光透过特性进行 了测试分析．结果表 明：所制备薄膜在可见波段具有较高透过率， 并且沉积温度对 AZO薄膜的结构和光透过性能有很大影响．在衬底温度为 470℃时得 到的AZO薄膜具有(002)择优取 向，结 晶质量最好、光透过率最高，在可见光区平均透过 率达到 85 以上． 关键词：AZO薄膜；超声喷雾热解；透过率；薄膜结构 中图分类号：0484．1 文献标识码：A ZnO是一种 II—VI族直接带隙宽禁带化合物半导体材料 ，属于六方纤锌矿结构．由于 (002)晶面的 表面 自由能最低 ，所 以晶体具有 C轴择优取向的特性．作为直接带隙宽禁带半导体材料，ZnO在光 电 器件领域具有很大的潜力[1]．掺杂 Al、In、Ga等 IIIA族元素原子 的ZnO半导体透 明导 电氧化薄膜 (TransparentConductiveOxideThinFilm，简称 TCO)，作为一种重要的光电信息材料得到了广泛的 研究[5。．由于具有较高的可见光透过率和较强的导 电性等特性 ，TCO被广泛地应用于各种光 电器件 中，如太阳能电池 、平板显示器件、气体敏感器件等．目前 TCO功能材料中使用最广、最成熟的是氧化 铟锡 (ITO)，但 ITO材料却有很多缺陷[8]．与之相比，Al掺杂 ZnO(AZO)薄膜对环境无毒 、无污染 、 稳定性高、易于加工、对微波具有衰减性 ，同时又具有与ITO相比拟的光 电特性等突出优点，正在逐渐 替代 ITO薄膜成为新一代透 明导 电材料口 ．AZO 薄膜 的制备方法很 多 ，最常用 的有溶胶一凝胶 法 ，金属有机化学沉积法[]，磁控溅射法 ]，脉冲激光沉积法 和喷雾热分解法 。．16等 ，其 中超 声喷雾热分解法可在常压下实现薄膜的制备 ，容易实现掺杂，且工艺简单，是一种非常经济的制备方 法．采用超声喷雾热船法在石英衬底上制备了一系列 AZO薄膜 ，并借助 X射线衍射谱 (XRD)、扫描电 子显微镜 (SEM)和紫外一可见分光光度计 (UV光谱)对薄膜进行了表征 ，研究 了衬底温度对结构和光 透过性能的影响． 1 实验 采用超声喷雾热解法在石英衬底上沉积 AZO薄膜，前驱体溶液为乙酸锌 (Zn(CH。COO) ．2HO) 收稿 日期 ：2012—09—27 基金项目：国家 自然科学基金项 目；大连市科学技术基金项 目(201IJ21DW013) 作者简介 ：=VSK~ (1974 )，女，辽宁辽阳人 ，辽宁师范大学副教授 ，博士． E-mai1：yuxinwany178@sina．com 第 4期 王玉新等 ： 衬底温度对 ZnO：A1薄膜结构和光透过性能的影响 479 和硝酸铝 (Al(NO。)。·9HzO)的水溶液 ，溶液中T／Zn／ 物质的量 比值为 1：0．04．前驱体溶液经超声 雾化后在 Oz载气 的作用下携送至喷嘴到达 已被丙酮、乙醇及 去离子水超声清洗过 的石英玻璃衬底 ， 完成雾化热解过程．实验 中的各个参数如下：载气流量为 1．6L／rain，喷嘴到衬底之间的距离为 4cm， 喷雾时间为 10min，衬底温度从 450~530℃之间变化．待反应完成后关闭加热器使衬底 自然冷却后再 取出样品． 为了表征 AZ0薄膜 的晶体结构和表面形貌