基于激光干涉法的MEMS高g值加速度计准静态校准.pdfVIP

伺《 畏控制》 20]2年 8期 _ 基于激光干涉法的 MEMS高g值加速度计准静态校准 中北大学电子测试技术国家重点实验室 刘爱莉 范锦彪 张茹开 王永芳 摘 要：介绍了采用Hopkinson杆冲击装置产生激励加速度脉冲，利用激光多普勒 干涉仪对激励信号进行测量，实现对MEMS高g值加速度计进行准静态校准的原 理。给出了传感器灵敏度系数的两种标定公式，并对校准系统中影响激励加速度 脉冲幅值测量误差的主要因素进行了分析。通过对一种压阻式高 g值加速度计的 两种灵敏度标定结果和测量不确定度的分析，比较了两种标定公式的优缺点。 关键词：激光多普勒干涉仪 高g值加速度计 准静态校准 标定公式 不确定度 l 引言 励加速度脉冲幅值测量误差的主要 因 利用Hopkinson杆技术对高 g值 随着硅微机械加工技术 的不断发 素进行 了分析。并采用激光干涉绝对 加速度计进行准静态校准的装置如图 展成熟 ，高g值加速度计 已广泛应用 法对 中科院上海微系统与信息技术研 1所示，主要由霍普金森杆产生激励加 于航空航天、兵器测试等振动；中击过 究所研 制的SIMIT-AYZ一3—60K型高 g 速度脉冲，利用差动式激光多普勒干 程 中运动参数的测量 ，尤其是弹体侵 值压阻加速度计进行 了准静态校准 ， 涉仪实现对激励脉冲的测量，最终 由 彻过程 中加速度的测量 [I-31~然而由于 通过对标定结果和不确定度的分析比 波形记录仪将测得 的数据进行存储并 高 g值加速度计 的价格 比较 昂贵，大 较了两种标定公式的优缺点。 导人计算机进行后续处理。 多数加速度计需要反复在 比较恶劣的 校准系统的主要原理是弹体在压 条件下使用 】，在长时间工作或经大过 2 实验方案 缩空气推动下以一定的速度 同轴撞击 载后加速度计的灵敏度系数可能发生大 2．1实验装置及原理 直径 l6mm、长 1．6m 的霍普金森杆， 的变化，因此需要经常性的校准。自 20世纪60年代以来，世界各 国冲击校 准实验室相继开展了冲击校准技术的研 究，提出了多种；中击校准方法 ]。其中， 激光干涉绝对法凭借其完善的校准原 理和可靠的校准方法引领 了；中击校准 技术的发展方向 [6-81。 本文给出了传感器灵敏度系数的 两种标定公式、对校准系统中影响激 图 1Hopkinson杆准静态校准系统原理图 WWW CA168COM 63 国潮 潮黼 智能检测 撞击会在 Hopkinson杆的左端面产生近 似半正弦的纵 向压应力脉 ；中，并沿杆 加速度计 向右传播 (当霍普金森杆的长径 比大于 10时，杆 中质点的横向惯性引起的几 安装座 何弥散可以忽略)l~lo安装座的左端借 助于真空夹具与霍普金森杆右端面相 霍普金森杆 衔接 ，右端通过螺栓与加速度计刚性 地连接在一起 。由于安装座的材料与 霍普金森杆相同(钛合金TC4)，因此 ， 衔接面处