多晶硅生产废水处理工程设计.pdfVIP

INDUSTRIALWATER＆WASTEWATER 工业用水与废水 v。1．43No．6Dec．．2012 多晶硅生产废水处理工程设计 魏谷 (威立雅水处理技术(上海)有 限公司，上海 200080) 摘要 ：为使 多晶硅生产废水达到回用要求 ，根据其水质特征 ，设计采用预处理一反硝化脱氮一生物接触氧化一 高效流砂过滤的工艺流程 。工程运行结果表 明，经处理后 出水水质达到 GB／T18920--2002{~L市污水再生利用城 市杂用水水质》的要求。 关键词 ：多晶硅废水 ；含氟酸性废水处理 ；反硝化脱氮 ；废水回收利用 中图分类号：X703．1 文献标识码 ：B 文章编号：1009—2455(2012)06—0081—04 1 工程概况 2 水量、水质分析 陕西省某企业采用改 良型西 门子工艺生产高纯 废水来源分别是：①侵蚀清洗废水．来 自硅芯 度多晶硅 ，工艺可分为三氯氢硅合成、四氯化硅氢 侵蚀制备和产品整理工段；②生活污水，来 自员工 化等 5个主体单元和氯化氢制备、硅芯制备等4个 生活；③废气处理系统的排放废水。事实上，第3 辅助单元。改 良型西门子工艺为先进的清洁生产工 股废水水量极少 ．仅在非正常生产时产生 ．来 自 艺．正常生产时．主要在硅芯侵蚀制备和产品整理 NaOH对废气的洗涤吸收单元 ．主要污染物包括 工段产生侵蚀废水和废气 ，污染物为F一和 NO，一； NaF、NaNO2、NaNO3、NaaSiO4等 。由于该部分废 非正常生产时．主要产生废气 ．污染物包括HC1、 水水量极少．所以项 目中并没有设置事故池．而是 SiHC1，、SiCL等。由于项 目所在地水资源短缺，业 将其直接汇人生产废水调节池 侵蚀清洗废水和生 主提出处理后废水回用于绿化的要求 活污水的设计水量 、水质见表 1 表 1 设计水量 、水质 从表 1可 以看 出．侵蚀清洗废水水量较大．但 多晶硅废水中高浓度 F一的去除．工程上一般采用 水质成分简单 ，主要含有较高浓度 的F一和 NO一。 加钙二级沉淀法[i-3]，NO3一、NH一N、CODCr的去除 几乎不含有机污染物 由于废水 中NO一的质量浓 可采用 A／O前置反硝化工艺 设计采用的多晶硅 度高达 400mg／L．在进入生化单元之前需与生活 废水处理工艺流程见图 l 污水混合 以节约外加碳源投加量 ：对于 F一．应在 侵蚀清洗废水和废气处理系统的废水进入生产 生化单元前设置预处理单元将其去除 废水调节池 ，对废水进行均量均质调节．出水经中 由于废水处理后 回用于项 目所在地绿化灌溉 ． 和池调节 pH值至 8～10后进入反应池 ．向反应池 出水水质应达到GB／T18920--2002((城市污水再生 内投加 CaC1以沉淀F一，出水进入混凝沉淀池 ，向 利用 城市杂用水水质》的要求。 混凝沉淀池内投加混凝剂 ．改善 CaF，的沉降性能 3 工艺流程及说明 经上述流程预处理后的生产废水与生活污水在生活 针对多晶硅废水中的NO一、F一，以及生活污水 污水调节池 内混合，混合废水在缺氧池、生物接触 中的有机污染物．考虑出水需回用 ．设计易采用物 氧化池 内分别进行脱硝和生化降解 生化处理出水 化预处理、生化处理和深度处理的组合工艺 对于 经二次沉淀后依次经混凝沉淀、高效流砂过滤器深