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真空与低温 第 18卷 第 4期 228 Vacuum ＆ Cryogenics 2012年 12月 用于气体流量控制的压电陶瓷阀的温度特性 刘洪金 ，池华敬 ，郭 帅 ，陈 革 ，章其初 (1．山东温屏节能玻璃有限公司，山东德州253000；2．皇明太阳能股份有限公司，山东德州253000) 摘要：采用PEV一1型压电陶瓷阀作为溅射气体 Ar流量输出的驱动元件 ，用于真空磁控溅射镀膜中溅射气体恒 压力控制。应用过程中发现压电陶瓷阀本身的迟滞特性和温度特性对气体输出流量有较大影响。试验分析得到压 电陶瓷阀偏振电压变化过程中，气体输出流量的迟滞曲线。当压电陶瓷阀环境温度升高时，该迟滞特性会减弱，气 体输出流量随偏振电压变化速率变大。 关键词：压电陶瓷；迟滞特性；温度特性；有效工作电压 中图分类号：TH138．52 文献标志码 ：A 文章编号：1006—7086(2012)04—0228—04 DoI：l0．3969／j．issn．1006—7086．2012．04．009 CHARACTERISTIC oF PIEZoELECTRIC CERAM IC VALVE THE APPLICATION oF GASFLoW CONTRoL LIUHong~in，CHIHua~ing，GUOShum ，CHENGe，ZHANGQi．chu (1．ShandongWinpinEnergy-savingGlassCo．Ltd，Dezhou 253000，China； 2．ResearchandDevelopmentCenterforCoatings，HiminSolarCo．Ltd，Dezhou 253000，China) Abstract：PEV一1typepiezoelectricceramicvalveisusedastheoutputdriveelementofArinthesystem ofvacuum magne— ironsputtering．Theinfluenceofpiezoelectricceramiccharacteristicongasflow controlisdiscussed．Especiallythedepend— enceofAroutputflowonthepolarizationvoltageandenvironmenttemperature．Duringtheprocessof polarizationvohagein— creasingfirstanddecreasingthen，theAroutputflowcurveshowedhysteresis．Atthesametime，thehysteresiscurveisdis— tinctwiththechangingofenvironmentaltemperature．Thelowertemperature，themoreobvioushysteresiseffectis． Keywords：piezoelectricceramicvalve；hysteresiseffect；temperatureeffect；effectiveworkingvoltage 1 引言 随着压电陶瓷材料应用领域的不断扩大，压电陶瓷阀作为一种精密驱动元件，广泛用于真空镀膜领域中 的气体流量输出控制 j。与传统的质量流量计控制气体输出相比，压电阀响应快，能耗低，精度高，易于控 制。压电陶瓷阀是利用具有逆压电效应的压电陶瓷材料做成微调气体控制阀门，压电陶瓷阀片在外加电场 作用下产生机械应变，应变的大小与外加电场的大小成正比。压电陶瓷材料的介电、蠕变等特性早有深入研 究和介绍 J，针对在真空磁控溅射应用中，压电陶瓷用迟滞和温度特性对气体输出流量控制的影响进行详 细的试验和相关分析讨论。 2 试验装置 试验在立式平板玻璃真空磁控溅射连续镀膜线 (型号 WP4B1650)上进行