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低 温 与特气
气体纯化技术进展
孔 照荣
化工 部 光 明化工研 究所 大连 信 箱
,
阐 明 了气体纯 化技术发展 的必 然 趋 势 详细 介绍 了 国 内外 气体纯 化工 艺过 程 和 技 术性 能 指 出 了我 国 配 气 用 一
高纯度 底气 压 力 型纯 化技 术开 发 研 究 的迫 切性
关键词 纯化 , 精制 , 超 高纯度 , 纯化 器 , 再生 , 氢 , 氮 , 氧 , 氢
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气体纯化技术的兴起 ’」 年世 界集成 电路 产 量 已达 至」
表 年特种气体 销 售额
焊接 工业 、 化学 工业 、 钢铁 工业 和航 天
国国别别 特种气体体 电子 气气 标 准气气
工业 等 , 都对气体纯 化技术的发展产 生过 巨
亿亿亿 美元元 总销售额额所 占比例例总销售 占比例例
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大 的推动作用 。 包括特种气体在 内的纯化气
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