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第 14 卷 第 4 期 江 　苏 　石 　油 　化 　工 　学 　院 　学 　报 Vol 14 No4 2002 年 12 月 JOURNAL OF J IAN GSU INSTITU TE OF PETROCHEMICAL TECHNOLO GY Dec2002 文章编号 : 1005 - 8893 (2002) 04 - 0039 - 03 多孔硅结构电镜图像的数字处理 李 　格 (江苏石油化工学院 计算机科学与工程系 , 江苏 常州 213016) 摘要 : 多孔硅在光电子和传感器领域是一种具有重要应用价值的材料 , 多孔硅网络结构的形状纹理直接影响其光学和热学性 能。运用数字图像处理分析方法对多孔硅结构电子显微镜图像 ( SEM) 进行特征提取 , 为多孔化率的测定提供了重要依据。 关键词 : 图像处理; 纹理分析 ; 多孔化率 中图分类号: Q 34951 　　　　文献标识码 : A 　　纹理是图像表面的一个重要特征 , 是对于图像 于纹理基元排列比较有规则的图像 ; 统计方法有灰 中各元素灰度和颜色的空间变化的一种描述 , 这种 度统计方法、自相关函数、模型分析方法等 , 适用 变化与材料本身的电子光子学性质密切相关。 于分析不规则的纹理图像。我们使用纹理的灰度分 1990 年 Canham 报道了室温下多孔硅可见光发 布统计特征分析多孔硅结构的电镜图 , 定量地给出 射以来 , 多孔硅成为光电子领域内的热门研究课题 纹理的粗细程度、深浅程度等参数描述 , 取得的结 之一[1 ] 。电子显微镜图像显示 , 多孔硅呈网络结 果为热释电传感器多孔硅衬底的多孔化率测定提供 构 , 大量的、纵横交错的、粗细不同的柱状或球状 了重要依据。 结构 , 仍然保持着多孔化前单晶硅的晶体取向。较 为普遍地认为多孔硅的有效发光是源于电化学腐蚀 1 　纹理的灰度统计方法 过程中形成的钠米结构。不同条件下腐蚀制备的多 孔硅 , 形成不同的多孔度和微结构 , 具有不同的入 直方图是图像窗口中多种不同灰度的像素分布 射激发能量和不同的吸收与发射谱。因此多孔硅的 的概率统计 , 可研究单个像素在图像空间的分布规 微结构对其在光电子领域的应用有着重要影响。另 律 , 但不能很好地反映像素之间的灰度级空间相关 外 , 多孔硅的网状多孔结构也为气敏、湿敏和热敏 性的规律 , 相同的直方图可能会有不同的纹理。基 传感器的研制提供了方便。在热敏传感器特别是红 于统计特征的灰度共生矩阵纹理分析方法是一种常 外探测器的研制中 , 多孔结构可以有效地降低衬底 用的纹理特征提取方法[4 ,5 ] 。在 3 维空间中 , 相邻 的热导率 , 从而明显地提高探测器的电压响应率 , 某一间隔的 2 个像素 , 它们或者具有相同的灰度 进而有效地提高红外探测器的探测灵敏度[2 ] 。因 级 , 或者具有不同的灰度级 , 描述这样 2 个像素的 此 , 对多孔硅结构的多孔化率测定是非常重要的。 联合分布的一个统计形式即灰度共生矩阵 , 其定义 而用计算机图像处理技术 , 如纹理分析可对多孔硅 如下 : 的电子显微镜图像作有效分析 , 结合其它方法可对 设 f ( x , y) 为像素 ( x , y) 的灰度值, 多孔化率作出定量测定。