大型衍射光栅刻划机控制系统研究.pdfVIP

第41卷第6期 中 圈 料 学 教 求 戈 李 辱 旅 Vo1．4l，No．6 2011年 6月 J0URNALOFUNIVERSITY OFSClENCEAND TECHN0L0GY OFCHlNA Jun．2011 文章编号：0253—2778(2011)06—056005 大型衍射光栅刻划机控制系统研究 刘栋材 ，申 远 ，钟 俊 ，齐 向东。，于海利 ，竺长安 (1．中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽合肥 230027；2．长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033) 摘要：介绍了大型高精度衍射光栅刻划机 的机械结构及其控制系统设计，并针对具有复杂机械结构 的控制系统研究了一种新的仿真方法．通过利用Pro／Mechanism模块 中的Custom Load(定制负 荷)插件实现控制算法，从而在虚拟样机上实现运动控制的仿真．采用这种方法，在光栅刻划机上进 行了精定位控制仿真，并基于仿真结果进行控制方案优化，提高了控制系统的开发效率和控制方案 的有效性． 关键词 ：高精度光栅 ；机械结构 ；控制系统 ；定制负荷 中图分类号 ：TP391．9 文献标识码 ：A doi：10．3969／j．issn．0253—2778．2011．06．016 Research on thecontrollingsystem ofagratingrulingengine LIU Dongcai，SHEN Yuan ，ZHONGJun ，QIXiangdong。，YU Haili。，ZHUChangan (1．Dept．o／PrecisionMachineryandInstrumentation，UniversityofScienceandTechnologyof(2hina，Hefei230027，China； 2．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Themechanicalstructureandcontrolsystem ofa largeandhigh—precision diffractiongrating rulingengineweredescribedandanew simulationmethodwaspresentedforthecontrolsystem witha complexmechanicalstructure．A Custom Loadplug-inofPro／Mechanism wasusedtoimplementthe controlalgorithm ，andthemotioncontrolwassimulatedonthevirtualprototype．Inthisway，simulation oftheprecisionpositioningofagratingrulingenginecanbeperformedtooptimizethecontrollogicbased onthesimulationresult，whichimprovesthedevelopmentefficiencyandeffectiveness． Keywords：highprecisiongrating；mechanicalstructure；controllingsystem；Custom Load 光栅刻划机被誉为 “精密机械之王”，采用高精 言 |fj 度的衍射光栅刻划机是制作高质量母光栅的重要手 目前，高精度刻划光栅尤其是高分辨率中阶梯 段Ⅲ1]．国际上典型的大光栅刻划机有美 国麻省理工 光栅成为光谱技术领域关注的新热点．中阶梯光栅 学院研制的MIT—B机、MIT-C机 以及 日本 日立公 光谱仪的应用领域从天文观测逐步走向民用化，在