铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟.pdfVIP

第 卷 第 期 光 学 精 密 工 程 1 5 2 V o l . 1 5 N o . 2 O t i c s a n d P r e c i s i o n E n i n e e r i n 年 月 p g g 2 0 0 7 2 F e b . 2 0 0 7 文 章 编 号 ( ) 1 0 0 4 ? 9 2 4 X 2 0 0 7 0 2 ? 0 1 9 9 ? 0 7 铰 链 式 高 冲 击 微 加 速 度 传 感 器 封 装 的 有 限 元 模 拟 , 1 1 2 2 车 录 锋 , 卢 云 , 徐 志 农 ( 中 国 科 学 院 上 海 微 系 统 与 信 息 技 术 研 究 所 传 感 技 术 国 家 1 . 重 点 实 验 室 , 上 海 ; 浙 江 大 学 机 械 与 能 源 工 程 学 院 , 浙 江 杭 州 ) 2 0 0 0 5 0 2 . 3 1 0 0 2 7 摘 要 : 给 出 了 一 种 新 型 铰 链 式 高 冲 击 微 加 速 度 传 感 器 实 际 封 装 结 构 的 有 限 元 模 拟 分 析 。 首 先 分 析 了 封 装 前 铰 链 式 加 速 度 传 感 器 的 振 型 , 然 后 分 析 了 封 装 结 构 在 无 灌 封 和 五 种 不 同 灌 封 材 料 下 的 前 十 阶 模 态 频 率 特 性 。 灌 封 胶 弹 性 模 量 对 封 装 后 加 速 度 传 感 器 整 体 结 构 的 振 动 模 态 有 一 定 的 影 响 , 封 装 结 构 同 一 振 型 的 模 态 频 率 随 着 灌 封 胶 弹 性 模 量 的 增 大 而 增 大 , 但 是 灌 封 胶 弹 性 模 量 很 小 时 ( ) 会 导 致 加 速 度 传 感 器 信 号 失 真 。 模 拟 结 果 表 明 , 可 以 选 择 弹 性 模 量 足 够 高 ? 1 G P a ≤ 的 材 料 ( ) 作 为 高 冲 击 加 速 度 传 感 器 的 灌 封 材 料 。 ? 9 G P a 关 键 词 : 微 加 速 度 传 感 器 ; 封 装 ; 有 限 元 模 拟 中 图 分 类 号 : 文 献 标 识 码 : T P 2 1 2 . 1 7 A ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 1 , 2 2 , , C H E L u ? f e n L U Y u n X U Z h i ? n o n g g ( , 1 . ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? , , ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? , ; , ? ? ? ? ? ? ? ? 2 0 0 0 5 0 ? ? ? ? ? 2 . ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? , , ) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 3 1 0 0 2 7 ? ? ? ? ? : ? ? ? ? ? ? ? ? A n o v e l a c k a e d h i n e d h i h ? m i c r o m a c h i n e d a c c e l e r o m e t e r w a s s t u d i e d b f i n i t e e l e m e n t p g g g g y , s i m u l a t i o n s . T h e m o d e s h a p e o f h i g h ? g a c c e l e r o m e t e r w i t h o u t p a c k a g i n g w e r e a n a l y z e d a