基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法.pdfVIP

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2017-09-13 发布于重庆
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基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法.pdf

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第卷第期光学精密工程１５７　Ｖｏｌ．１５Ｎｏ．７　　　　　　　　　　ＯｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ　　　　　　　　年月　ｐｇｇ２００７７Ｊｕｌ．２００７　　　　文章编号（）１００４９２４Ｘ２００７０７１０７７０７　基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法节德刚，刘延杰，孙立宁，陈智超，蔡鹤皋（哈尔滨工业大学机器人研究所，黑龙江哈尔滨１５０００１）摘要：提出了一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法。在分析光栅尺测量原理的基础上，探讨双光栅尺信号的切换合成；通过对莫尔条纹电子细分计数脉冲切换误差的分析，研究减小切换合成误差的方法；采用可编程逻辑器件ＦＰ ＧＡ设计信号处理电路，并通过逻辑、时序仿真，验证了本方法的可行性。实验结果表明：此方法在光栅尺移动速度＞１／时，具有分辨率，可满足新一代运动定位系统对高速高精度位移测量的要求。ｍｓ１０ｎｍ关键词：位移测量；双光栅尺；切换合成；ＦＰＧＡ　　中图分类号：文献标识码：ＴＨ８２２Ａ　　犃犺犻犺狊犲犲犱犪狀犱犺犻犺狉犲犮犻狊犻狅狀犱犻狊犾犪犮犲犿犲狀狋犵狆犵狆狆犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋犿犲狋犺狅犱狌狊犻狀犱狅狌犫犾犲狉犪狋犻狀狊犮犪犾犲狊犵犵犵，，，，ＪＩＥＤｅａｎＬＩＵＹａｎｉｅＳＵＮＬｉｎｉｎＣＨＥＮＺｈｉｃｈａｏＣＡＩＨｅａｏｇｇｊｇｇ（，，）犚狅犫狅狋犻犮狊犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犎犪狉犫犻狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犜犲犮犺狀狅犾狅犎犪狉犫犻狀１５０００１犆犺犻狀犪犳犳犵狔：犃犫狊狋狉犪犮狋Ａｈｉｈｓｅｅｄａｎｄｈｉｈｒｅｃｉｓｉｏｎｄｉｓｌａｃｅｍｅｎｔｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｂａｓｅｄｏｎｄｏｕｂｌｅｒａｔｉｎｇｐｇｐｐｇｇ， ’ ｓｃａｌｅｓｗａｓｒｅｓｅｎｔｅｄａｎｄｔｈｅｓｉｎａｌｓｓｗｉｔｃｈｉｎａｎｄｍｅｒｅｏｆｄｏｕｂｌｅｒａｔｉｎｓｃａｌｅｓｗａｓｄｉｓｃｕｓｓｅｄｐｇｇｇ