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中国科学: 物理学 力学 天文学 2011 年 第41 卷 第1 期: 6 ~ 11
SCIENTIA SINICA Phys, Mech Astron SCIENCE CHINA PRESS
上海光源专题
变包含角平面光栅单色器及其关键技术
①* ① ② ② ① ① ① ①
陈家华 , 薛松 , 卢启鹏 , 彭忠琦 , 邰仁忠 , 王勇 , 陈明 , 吴坤
① 中国科学院上海应用物理研究所, 上海 201800;
② 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130000
*E-mail: chenjiahua@
收稿日期: 2010-08-03; 接受日期: 2010-11-30
摘要 分析设计并研制了上海光源软X 射线谱学显微光束线站的变包含角平面光栅单色器, 经过精密加工
调试, 保证了扫描系统的转角重复精度; 采用多孔腔内部通道水冷方法, 控制了镜子表面热变形; 完成真空
箱体大尺寸方法兰加工与密封, 达到了单色器工作所需的超高真空. 通过上述关键部件的精确掌控, 确保了
单色器主要性能——光子能量范围、能量分辨率和能量重复性, 均优于设计指标.
关键词 同步辐射, 变包含角平面光栅单色器, 关键技术
PACS: 07.85.Fv, 07.85.Qe, 41.85.Si
1 引言 VAPGM 物理性能指标如表 1.
软 X 射线谱学显微光束线站(BL08U1A)是国家
重大科学工程上海光源(Shanghai Synchrotron Radia-
tion Facility, SSRF)首批建造的7 条光束线站之一, 设
计指标先进, 满足了国内用户在高空间分辨、高能量
分辨领域的科学研究需求.
BL08U1A 光路图如图1所示, 采用可调偏振波
图1 BL08U1A 光路图
荡器(EPU)插入件作为光源, 光束线主要包括: 水冷
白光四刀狭缝、前置柱面镜、变包含角平面光栅单色
表1 单色器物理性能指标
器(Variable included Angle Plane Grating Monochro- 光子能量范围(eV) 能量分辨率(E/ΔE) 能量重复性
mator, VAPGM)[1~5] 、后置超环面聚焦镜、单色光狭 250∼2000 4500@244 eV ≥20meV@244 eV
缝等.
VAPGM 是BL08U1A 的核心设备, 它具有光栅 第三代同步辐射光源的发展给单色器提出了更
覆盖能量范围大、光子输出通量高、能量分辨率高、 高的要求, 如何保证在高热负载条件下单色器系统
光谱纯度高、像斑质量好、可以采用多种交替运行模 的可靠性、稳定性、以及高能量分辨特性, 需要解决
式等诸多优点, 广泛应用于同步辐射光束线中. 若干关键技术问题. 针对本项目研制的 VAPGM, 主
为满足 SSRF 开展谱学显微等实验研究的需要, 要需要攻克超高真空环境下的机械系统高精度重复
引用格式: 陈家华, 薛松, 卢启鹏, 等. 变包含角平面光栅单色器及其关键技术. 中国科学: 物理学 力学 天文学, 2011, 41: 6 ~ 11, doi: 10.1360/132010-773
中国科学: 物理学 力学 天文学 2011 年 第41 卷 第1 期
性以及有效的热缓释技术等技术难题, 同时对机械 2.2
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