基于MEMS的新型高场不对称波形离子迁移谱仪.pdfVIP

基于MEMS 的新型高场不对称波形离子迁移谱仪 1, 2 1, 2 1 1 1 1 陈池来 , 赵 聪 , 王电令 , 程玉鹏, 孔德义 , 王焕钦 , 1 1 1 1 1 1 高 钧 , 高理升 , 林新华 , 王英先, 殷世平 , 张 瑞 ( 1. 中 科学院 合肥智能机械研究所 传感技术 家重点实验室, 合肥 230 031; 2. 中 科学技术大学 精密机械与精密仪器系, 合肥 23 0027) : 简要回顾了离子迁移谱技术的发展历程, 叙述了常规离子迁移谱的局限性阐述了基于 MEM S 工艺的新型高场不对称波形离子迁移谱技术, 该技术以物质离子的离子迁移率在高场下 的非线性变化特性为基础, 可实现对物质离子的空间分离以M EMS 技术为主体, 自主研发了 高场不对称波形离子迁移谱仪, 并对挥发性有机物苯系物爆炸物和农药等样品进行了检测, 结果表明该离子迁移谱仪能够对苯丙酮对二甲苯爆炸物梯恩梯和农药硫丹等物质实现快 速高分辨和高灵敏度检测, 检测精度达10- 9 量级, 线性度达 01 9 5该结果展示了其在物质离 子分离检测方面的巨大潜力, 以及在环境食品安全和生物大分子等领域的优越性和前景, 其研 究成果将推动下 一代物质离子分离检测技术的发展 : 高场不对称波形离子迁移谱; 非线性离子迁移率; 微电子机械系统; 离子迁移谱; 快速检测 : TH703; T L817 : A : 1671- 477 6 ( 2 011) 02-01 12- 06 High-Field Asymmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry Based on MEMS 1, 2 1, 2 1 1 1 1 Chen Chilai , Zhao Cong , W ang Dianling , Cheng Yupeng , Kong De i , Wang Huanqin , 1 1 1 1 1 1 Gao Jun , Gao Lisheng , Lin Xinhua , Wang Yingx ian , Yin Shiping , Zhang Rui ( 1. State K ey L a bo rator y Tr ansd ucer T echnology , I nst it ute of I ntellig ent M ach ines , Chinese A cademy of S ciences , H ef ei 2 30031, China 2. D ep ar tment of P r ecision M ach ine and P rec ision I nstr ument, Ch ina Un iv ers ity of Sc ience and Tech nolog