用于产生等离子体高压脉冲电源研制.pdfVIP

第88 卷 第# 期 高 电 压 技 术 6P-L 88 CPL # ·# · #%%= 年 # 月 3*I@ 6P-OHIB R.I*.BBN*.I \BXL #%%= 用于产生等离子体的高压脉冲电源的研制! ! ! ! ! # 朱志杰 ，张贵新 ，刘 亮 ，罗承沐 ，刘敏传 （!$ 清华大学电机与应用电子技术系，北京!%%%’ ；#$ 北京四方继保自动化股份有限公司，北京!%%%( ） 摘 要：为给高压脉冲装置提供脉冲电压使其在低气压下激发出低温等离子体，研制了一台等离子体的高压脉冲 电源。介绍了该套高压脉冲电源装置的构成原理、工作性能后，分析了实验的实际脉冲电压波形与仿真波形，发现 二者比较接近，证明利用)*+,-*./ 可模拟仿真气隙放电，采用此种碳刷型旋转开关，并适当改善定转子尺寸及倍率 0 可以得到频率从% 2 %%34 ，幅值为5 #%/6 的高压脉冲电压。 1 关键词：研制；高压脉冲电源；碳刷型旋转开关；等离子体；建模仿真 中图分类号： 7(8!；198# 文献标识码：: 文章编号：!%%8;(#% （#%%= ）%#;%%#;%’ !#$%’() %* + ,-$. /(0+)%0 *%0 1234)4(5 ,$+.’+ 3? @*A*B! ，3:CD D,*E*.! ，FG? F*H.I! ，F?7 J@B.I+,! ，FG? 9*.K@,H.# （!L 0BMHNO+B.O PQ R-BKON*KH- R.I*.BBN*.I H.S :MM-*BS R-BKONP.*K 1BK@.P-PIT ，1U*.I@,H ?.*VBNU*OT ， WB*A*.I !%%%’ ，J@*.H ；# L WB*A*.I )*QH.I :,OP+HO*P. JPL ，FOS ，WB*A*.I !%%%( ，J@*.H ） 67.)0+3) ：: M-HU+H NBHKOPN *U SBU*I.BS H.S M-HU+H *U BEK*OBS XT H -PY QNBZ,B.KT @*I@;VP-OHIB M,-UB IB.BNHOPN ，*OU NBMBO*O*VB NHOB PQ O@B M,-UB *U *. O@B NH.IB QNP+ %34 OP %%34 H.S O@B H+M-*O,SB *U ,M OP #%/6L 1@B IB.BNHOPN KP.U*UOU PQ P.B UOPNHIB KHMHK*OPN ，P.B :J MPYBN U,MM-T ，U*-*KP. UOHK/ ，NBU*UOH.KB .BOYPN/U ，@*I@ VP-OHIB S*V*SBN H.S H +POPN;KP.ONP--BS KHNXP. XN,U@ UY*OK@*.IL 1@B QNBZ,B.KT PQ O@B @*I@;VP-OHIB M,-UB KH. XB HSA,UOBS XT H-OBN*.I O@B UMBBS PQ +POPN ，H.S *OU S,OT KTK-B KH. H-UP XB HSA,UOBS XT HSS*.I O@B NPOPN NHS*,U PQ O@B XN,U@ UY*OK@*.I PN NBS,K*.I O@B .,+XBN PQ KHNXP. XN,U@BU *.K-,SBS *. XN,U@ UY*OK@*.IL 1@B H,O@PNU MNBUB.O O@B UON,KO,NB PQ O@*U -PY QNBZ,B.KT @*I@;VP-OHIB M,-UB IB.BNHOPN SBU*I.BS *. P,N -HX， I*VB O@B VH-,HX-B U*