一种AIN基热隔离MEMS阵列风速传感器设计.pdfVIP

第33卷 第 12期 仪 器 仪 表 学 报 V0ll33No．12 2012年 12月 ChineseJournalofScientificInstrument Dec．2012 术 一 种 AIN基热隔离 MEMS阵列风速传感器设计 赵文杰，施云波，罗 毅，李国龙，周 真 (哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室 哈尔滨 150080) 摘 要：采用微机电系统(micro-electro—mechanicalsystem，MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(aluminumnitride，AIN) 基热隔离四阵列热流量风速风向传感器，并同时集成了一个环境温度传感器。在厚度为0．2mm的A1N基片上通过光刻剥 离工艺和激光微加工工艺实现2D微结构风速风向传感器制备。传感器由中间加热器、4个温度探测器和 1个温度传感器组 成，4个温度探测器之间通过激光微加工刻蚀 8个热隔离通孑L以减少热传导损失，提高有效热流量交换。通过对传感器的 ANSYS仿真及性能测试 ，验证了设计的合理性及工艺的可行性。分析得 出采用热隔离通孔可有效提高4个探测器的灵敏 度 ，降低 了加热电极的热传导损失，减小了传感器设计尺寸，提高了设计的集成度。传感器测试结果表明：最大角度差为5。， 速度误差小于0．5m／s。加热功耗为120mW，响应时间仅3S0 关键词：风速传感器 ；氮化铝；热流量；微机电系统 中图分类号：TP212 TH82 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4020 Design ofthewindvelocitysensorbased onAIN thermal isolationM EM Sarray ZhaoWenjie，ShiYunbo，LuoYi，LiGuolong，ZhouZhen (TheHigherEducationalKeyLaboratoryforMeasuringControlTechnologyandInstrumentationsofHeilont~iang Pr~ince．SchoolofMeasurement—ControlTechnologyCommunicationsEngineering．HarbinUniversityofScience andTechnology，Harbin150080，China) Abstract：Inthispaper，athermalflowsensorofwindvelocityanddirectionbasedonaluminumnitride(AIN)themral isolationfourarraysisdesignedandfabricatedusingmicro—electro—mechanicalsystem(MEMS)technique．Moreover，an environmental temperaturesensorisintegratedatthesametime．The2D micro structurewindvelocityand direction sensorispreparedonanAINsubstratewiththicknessof0．2mmusingthephotolithographylift—offprocessingandlaser microprocessingtechnologies．Thesensoriscomposedofamiddleheater，fourtemperaturedetectorsandatemperature sensor．Inthefourtemperaturedetectors，8themr alis