基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制.pdfVIP

第25卷 第 10期 传 感 技 术 学 报 Vol_25 No．10 2012年 10月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS 0ct．2012 ResearchandFabrication ofPlatinum ThermalSensorBasedon IntermittentEtchingM ethod YANGYong，CHANGHonglong ，XIEZhongfian，ZHOUPingwei (KeyLaboratoryofMicro／NanoSysternsforAerospace，MinistryofEducation，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xi’an710072，China) Abstract：Forwetetchingprocessofplatinum ，an intermittentetchingmethodwasputforward．Compared with etchingalongstirringmethodandstaticmethod，itwasshownthattheetchedplatinum hadsmoothcurveandperfect effectbyusingintermittentetchingmethod．Then，selectingsiliconwaferasthesubstratematerialandSiO2asthe thermalinsulatinglayer，platinum thermalsensorswerefabricatedbyusingtheMEMSmethodmentionedabove． Throughthermalperformancetest．itwasshownthatthethermalsensorhadTCRof1571．2x10一／cICbetween20cCi and80 ℃ ，uniofrmity of0．35％ ，non—linearity of0．57％ ，hot—time constantof1．1 Ixs，amplitudechangeof 0．005n inthehalf-hourstabilitytest，andtheaccuracyof0．O1％ ．Thethermalsensorhashighperformance，and itsfabricationprocessissimple．Itcanbeusedfortemperaturesensing，andgassensing． Keywords：MEMS；sensor；intermittentetchingmethod；TCR；hot—timeconstant EEACC：7230；2575；7320R doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2012．010．008 基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制术 杨 勇，常洪龙 ，谢中建，周平伟 (西：tLT．业大学空天微纳系统教育部重点实验室，西安710072) 摘 要 ：针对铂湿法刻蚀工艺，提出了间断性腐蚀法，并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比，结果显示该方法腐蚀铂曲 线光滑、效果好。之后 ，以普通硅片作为衬底材料，二氧化硅作为隔热层 ，采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏传 感器。经热敏性能测试 ，其电阻温度系数在20qC～80qc时为 1571．2×10 ／℃；同--~tg次电阻阻值均匀性为0．35％；非线性度 为0．57％；热时间常数为 1．1txs；在0．5h的稳定性测试中其变化幅值为0．005n，即精度为0．01％。该热敏传感器制作1二艺 简单 ，性能优异，可用于温度敏感、气体传感等热敏传感。 关键词：MEMS；传感器；间断性腐蚀法；电阻温度系数；热时间常数 中图分类号：TN37 文献标识码 ：A 文章编号：1004-1699(2012)10-1365-05 采用微机电系统 (MEMS)技术制作的热敏传感 耦合等离子体 (ICP)、电子回旋共振 (ECR)、反应 器，具有体积小、响应快、工艺简单、性能优异等优