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第 55 卷 第 12 期 2006 年 12 月 物 理 学 报 Vol . 55 ,No . 12 ,December ,2006
10003290200655 ( 12) 653805 ACTA PHYSICA SINICA 2006 Chin . Phys. Soc .
40 Ar + 诱导无定形碳到金刚石
纳米晶相变的研究
) ) ) ) ) ) ) )
胡建刚1 2 王震遐1 勇震中1 2 李勤涛1 2 朱志远1
1) ( 中国科学院上海应用物理研究所 ,上海 201800)
2) ( 中国科学院研究生院 ,北京 100049)
(2006 年 1 月 9 日收到 ;2006 年 7 月 31 日收到修改稿)
40 +
通过 60 keV 的 Ar 辐照无定形碳靶合成了大量尺寸不同的金刚石纳米颗粒. 高分辨透射电子显微镜配合能
量色散 X 射线谱和电子衍射以及 Raman 谱分析的结果表明 ,这些嵌于具有扰动石墨结构薄膜中的纳米金刚石颗
( 13 2 )
粒 ,其成核率很高 约为 10 cm ,而且可以生长到较大的尺寸 ,有的甚至可以达到微米量级. 对其相转变过程也进
行了初步探讨.
关键词 : 离子束 , 金刚石纳米晶 , 相变 , 透射电子显微镜
PACC : 6180J , 6460 , 6116D
条件差别很大的情况下都可以发生从石墨到金刚石
[9 ] (
1 引 言 的相变. 与 Heera 等 采用 60 keV 的高剂量 约为
18 2 ) +
10 cm C 注入 SiC 在 900 ℃下生成金刚石颗粒的
由于在技术应用上的重要性 ,金刚石的合成受 情况不同 ,我们的研究表明 ,用 5 keV 的Ar + 辐照多
( 22 2 )
( ) 晶碳靶 辐照剂量约为 10 cm 在室温下也可以合
到了广泛的重视. 合成金刚石 颗粒或膜结构 的方
( ) [3 , 4 ]
法很多 ,但是不管是采用何种方法合成 ,关键在于金 成金
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