100%填充系数的微透镜阵列薄膜及应用研究.pdfVIP

第 12卷 第9期 2012年3月 科 学 技 术 与 工 程 Vo1．12 No．9 Mar．2012 1671—1815(2012)09—2193—04 ScienceTechnologyandEngineering @ 2012 Sci．Tech．Engrg． 通信技术 100％填充系数的微透镜阵列 薄膜及应用研究 张凯华 董连和 孙艳军 冷雁冰 陈 哲 (长春理工大学 光电工程学院，长春 130022) 摘 要 研究了掩模移动法制作一种高填充因子、高垂跨比的柱面微透镜阵列(MLA)薄膜，并应用于有机发光二极管 (OLED)平板中来提高输出效率。测试结果显示OLED的输出效率最多可以提高46％，并且没有明显的色差。实验证明具 有高填充因子、高垂跨比的微透镜7#YJ,薄膜可以提高各种显示器的光学效率或者平板光源的照明效果。 关键词 掩模移动法 微透镜阵列薄膜 有机发光二极管 中图法分类号 TN209； 文献标志码 A 微透镜阵列 (microlensarray，MLA)薄膜由一层 和排列就尤为重要。 凸折射透镜组成，它有着多种功能包括控制视角，提 然而，传统的MLA薄膜仍然有不足之处，因为 高图像传感器的敏感度或者提高显示器或照明器件 相邻的透镜之间仍有空隙不能用来减少全反射。 的投射光源的连续性 J。平板显示器的背投光源系 相邻的透镜之问仍有一定的空隙，致使 占空比达不 统例如LCD和 OLED需要一种MLA薄膜来提高他 到 100％。占空比又称填充系数，是指微透镜所 占 们的照明亮度。MLA薄膜可以代替传统的衍射薄 面积与整个阵列面积之比。大多数与MLA薄膜相 膜。另外，微透镜薄膜可以调整平板显示器发出的光 关的技术资料所介绍的微透镜之间都有一定的间 的形状，以此来达到控制显示器屏幕视角的目的。 隙，也就是说透镜的填充因子达不到 100％。尽管 OLED被认为是下一代最有潜力 的光源替代 可以利用例如激光直写法、灰度掩模法、热熔法等 者，为了能满足实际需要，必须提高OLED的发光效 光刻法来制作微透镜阵列薄膜，但是这些方法都有 率。OLED有机层发出的光在传输过程中受到基 一 定的局限性 。 底／空气界面的全反射和有机层波导效应的作用而 现采用掩模移动法来制作一种微透镜阵列 大部分损失掉。在玻璃空气界面，入射角大于临界 (MLA)薄膜，这种 MLA薄膜的填充系数为 100％。 角的光发生全反射，30％的光在玻璃基底 内传播而 最后对所制得的MLA薄膜进行分析，将 MLA薄膜 不能耦合到空气，正是因为 OLED和空气的不匹配 应用于 OLED平板并且对发光效率进行测量。 而导致大部分光在传播到空气前就损失掉，致使耦 合输出效率只能达到20％左右 I2．3j。这在很大程 1 实验制作微透镜阵列薄膜 度上限制了OLED的应用。而MLA薄膜可以轻松 实验室采用的光源是波长为248nmKrF激光 解决这一问题来获得更高的发光效率。为了得到 光源，光源系统中采用光束整形和匀光器件来确保 最大的发光效率，MLA薄膜的结构，例如形状、尺寸 照射到掩模平面的光