不同衬底对CBD法制备ZnO纳米棒阵列的影响.pdfVIP

第50卷 第3期 吉林 大 学 学 报 (理 学 版 ) V01．50 No．3 2012年 5月 JournalofJilinUniversity(ScienceEdition) May 2012 研 究 简 报 不 同衬底对 CBD法制备 ZnO纳米棒阵列的影响 王 立 ，王德军 ，郎集会 (1．吉林师范大学 物理学院，吉林 四平 136000；2．长春大学 成人教育学院，长春 130022) 摘要：采用化学溶液沉积(CBD)法在3种不同衬底上生长ZnO纳米棒阵列，并利用x射线衍 射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜 (AFM)和光致发光(PL)谱研究纳米棒的 结构、形貌和光学特性．结果表明：产物均为ZnO纳米棒状结构且均匀分布在衬底上，其中 在氧化铟锡(ITO)导电玻璃衬底和玻璃衬底上生长的ZnO结晶质量优于在硅衬底上生长的样 品，而纳米棒在玻璃衬底上的覆盖密度最大且取向均一；在 si衬底上生长纳米棒的发光性能 最好；3个样品的紫外峰位均发生微小移动，这是 由于纳米棒尺寸不同导致应力发生变化所 致． 关键词：ZnO纳米棒；化学溶液沉积法；衬底；光学特性 中图分类号：TB383 文献标志码：A 文章编号：1671—5489(2012)03-0563-04 InfluenceofZnO NanorodArraysPreparedbyM eansof CBD M ethodonVariousSubstrates WANGLi，WANGDe．jun，LANGJi—hui (1．CollegeofPhysics，JilinNormalUniversity，Siping136000，JilinProvince，China； 2．CollegeofAdultEducation，ChangchunUniversity，Changchun130022，China) Abstract：Zincoxide (ZnO)nanorodsweregrownonthreekindsofsubstratesbymeansofthechemical solutiondeposition(CBD)method．Thecrystalstructure，morphologiesandphot01uminescencepropertiesof thenanorodswerestudiedbymeansofX—raydiffraction (XRD)，scanningelectronmicroscopy(SEM)， atomicforcemicroscopy(AFM)andph0toluminescencespectroscopy (PL)．Theresultsshowthatthe products，ZnO nanorodswereuniformlydistribationedon thesubstrate，thecrystallizationqualityoftheZnO ontheITO conductingglassandbareglasssubstratesarebetterthanthatofthesampleontheSisubstrate． Andthenanorodsgrownonthebareglasshavethemostcoveragedensityandtheirtropismsareunity．The ZnOnanorodsgrownontheSisubstratehavethebestphot01uminescence．ThesmallshiftintheUV emission wascausedbythestressduetothedifferentsizesofthenanorods． Keywords：ZnOnanorod；chemicalsolutiondepositionmethod；substrate；phot01uminescenceproperty 宽禁带半导体材料主要包括 SiC，GaN，ZnO，AIN，ZnSe及金刚石薄膜等，其禁带宽度一般大于 2．3eV．由于ZnO在室