静电驱动MEMS谐振式压力传感器闭环拓扑研究.pdfVIP

第24卷 第 7期 传 感 技 术 学 报 Vo1．24 No．7 2011年7月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS July2011 Closed—Loop TopologiesforElectrostaticDriveResonantPressureSensor WANGYuzhao，YUANWeizheng ，RENSen，QIAODayong (MicroandNanoElectromechanicalSysternLaboratory，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xi’an710072，China) Abstract：Closed—looptopologyplaysanimportantroleinsustainingreliableoscillationforresonantpressuresensor．A hybridmodelofatypicalMEMS resonantpressure sensor，which isdriven by electrostatic force and sensed by capacitancechanges，wasconstructed toresearch theinfluenceofclosed loop topoloyg ．Fourclosed—loop topologies including self-oscillation，automatic gain controller，Phase—Locked Loop and self-oscillation with automatic gain controller，wereemployedinthehybridmode1．Usingamixedsignalsimulationplatform，perfomr ancesimulationand comparisonamongdifferenttopologieswasimplemented intermsofstartup capability，automaticfrequencytracking performance．shockimmunityand~equencystability．TheresultsshowthatPLLloophasthebestoverallperformance． Keywords：MEMS；resonantpressuresensor；closed—looptopology；frequencytracking；PLL EEACC：7230 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2011．07．008 静 电驱动 MEMS谐振式压力传感器闭环拓扑研究 王玉朝，苑伟政 ，任 森 ，乔大勇 (西北工业大学微／纳米系统陕西省重点实验室，西安 710072) 摘 要：谐振式压力传感器闭环拓扑结构对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用。针对一种典型结构的静电 驱动电容检测MEMS谐振式压力传感器，在分析工作原理的基础上，构建了其混合信号模型。基于该模型搭建了自激振荡、自动 增益控制、锁相环和带AGC的自激振荡四种闭环拓扑结构。在混合信号仿真平台下，对四种拓扑结构在起振状况、自动频率跟 踪特性、抗冲击性和频率稳定性四个方面进行了仿真比较。结果表明，锁相环闭环拓扑结构表现出较好的综合性能。 关键词 ：MEMS；谐振式压力传感器；闭环拓扑；频率跟踪；PLL 中图分类号 ：TP212．1；TP391．9 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—1699(2011)07—0970—06 谐振式压力传感器广泛应用于航空大气数据计 Bar量程内，综合误差小于±40×10 ／FS_j。 日本横 算、大气数据校准、大气测量和制作气压计、高度计 河 电机研制了一种采用复杂表面加工工艺的电磁激 等国防和民用领域，它是利用机械谐振器把被测压 励谐振式压力传感器。该压力传感器在压力膜表面 力转换为频率信号的一类传感器。当被测压