ZrC／ZrB2纳米多层膜的微结构和耐磨性.pdfVIP

维普资讯 第 27卷 第 1期 天 津 师 范 大 学 学 报 (自然科学版) 2007年 3月 JournalofTianjinNormalUniversity(NaturalScienceEdition) Vo1．27 No．1 M ar．2007 文章编号 ：1671—1114(2007)01—0017—03 ZrC／ZrB2纳米多层膜的微结构和耐磨性 杨 瑾 ，李德军 (天津师范大学 物理与 电子信息学院，天津 300074) 摘要 ：采用射频磁控溅射方法在 Si(1O0)基底上制备 了一系列 Z ／Z 纳米多层膜和 ZrC，Z 单层薄膜．通过扫描 电子显微镜(SEM)，MS-T3000摩擦磨损仪及表面轮廓仪(XP-2)研究了薄膜的微结构和耐磨性．结果表明，多层膜的界 面清晰，调制周期性好，周期为3．52nn2的多层膜摩擦系数最小，约为0．24；Z ／ZrB2纳米多层膜的耐磨性优于Z 和 Zr 单层薄膜；ZrC／Z 多层膜耐磨性提高的主要原因是，调制结构中大量界面的存在，提高了薄膜的韧性，从而增强 了薄膜的耐磨性能． 关键词 ：磁控溅射 ；ZrC／ZrBz纳米多层膜 ；微结构 ；耐磨性 中图分类号：TG174．444；TG174．4 文献标识码：A MicrostructureandWearResistanceofNanoscaleZrC／ZrB~MultilayeredCoatU~s YANG Jin．LJD~jun (CollegeofPhyscisandElectronicInformationScience，TianjinNomr alUniversity，Tianjin300074，China) Abstract：ZrC／ZrBzmultilayeredcoatingandmonolithicZ andZrBzcoatingsonSi(100)werepmmparde byr．f．~ etron sputtering system．Scanning electronmicmsocpy(SEM)，MS-T3000frictionweartesternadprofiler(XP-2)wereemployed toinvestigatethemicrostructureandwearresistanceoftheocating s．Theresultsindicatde thatnanosacledocating poss~sde claermultilayeredstructureandgoodmodulationperiod．MultilayersamplewithA 一 3．52nnlhadthesmallestfrictioncod— ficientof0．24．Tribologiaclexperimentshowde thatrlanoscfleZrC／ZrBzmultilayerfilmexhibitdebetterwaerresistancethan thatofmonolithicZrCnadZrBzocatings．Improvementofthewaerresistanceofmultilayernanoscaledocating wasmainlydue totheincraeseofcoating stoughnessinducde bytheinterfaces． Keywortb：ma gnetronsputtering；nanoscaleZrC／ZrI~multilayers；microsturcture；waerresistnace ZrC薄膜 由于具有高硬度、高熔点、良好的导电 近几十年来