离子束抛光工艺中驻留时间的综合算法.pdfVIP

第 32卷 第 5期 应 用 光 学 Vo1．32NO．5 2011年 9月 JournalofAppliedOptics Sep．2O11 文章编号 ：1002—2082(2011)05—0888-06 离子束抛光工艺中驻留时间的综合算法 郭伟远 。，成 贤锴 。，梁 斌 (1．中国科学院国家天文台 南京天文光学技术研究所 ，江苏 南京 210042；2．中国科学院天文光学技术重点实验室， 江苏 南京 210042；3．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘 要 ：在离子束抛光工艺中，驻留时间的求解是很关键 的。通常求解驻留时间的时候 ，是用理 想的高斯函数来近似 实际的加工函数 。如果使 用实际的加 工函数仿真加工，加工的效果不好 。 运用系数法和消去法的综合算法来提 高采用实际加工函数仿真加工镜面面型的精度 ，首先 多次 用系数法得到比较理想且平滑的镜面面型，然后再用消去法精修面型。这种算法运算速度快 ， 得到的面型精度高且较平滑。对这种综合算法进行仿真分析 ，比较 了理想高斯 函数与实际加工 函数加工后的差别，同时比较 了运用消去算法与综合算法得 到的镜面面型，PV值 由83．63nm 减小到46．92nm，镜面精度提高 了很 多 关键词 ：离子束抛光；驻 留时间；矩阵运算 ；计算机控制光学表面成形 中图分类号 ：TN205；TP391．7 文献标志码 ：A Dwelltimealgorithm ofsynthesisforionbeam polishing GU0 W ei—yuan一，CHENG Xian—kai，u，LIANG Bin’ (1．NationalAstronomicalObservatories／NanjingInstituteofAstronomicalOptics＆Technology，CAS， Nanjing210042，China：2．KeyLaboratoryofAstronomicalOptics＆ Technology，NanjingInstituteofAstronomical Optics＆ Technology，CAS，Nanjing210042，China；3．GraduateUniversityofCAS，Beijing100039，China) Abstract：In theprocessofionbeam polishing，thedeterminationofdwelltimeisverycrucia1． UsuallytheidealGaussfunctionisusedtoapproximatethepracticalprocessingfunction．Ifthe practicalprocessingfunction isusedto simulateprocessing，theresultofprocessing isnotsatis— facotry．A synthesisalgorithm ofcoefficientmethodandeliminationmethodisproposedtoim— provetheaccuracyofmirrorfacewhenthepracticalprocessingfunctionisadoptedtosimulate processing．Firstly，itusesthecoefficientmethoditerativelytogetasmoothmirrorface，and thenusesthe elimination method to improvetheaccuracy．Thisalgorithm runsfaster，and worksoutasmoothmirrorfacewithhighaccuracy．Thesynthesisalgorithm issimulated，the resultsbetweent