原子力显微镜原理与应用技术.pdfVIP

二 ○○六年 ·第六期 综述与专论 原子力显微镜原理与应用技术 刘岁林 　田云飞 　陈　红 　吉晓江 (四川大学分析测试中心 　成都 　6 10064 ) 摘 　要 　本文简述原子力显微镜的工作原理 ,对比说明敲击模式的优越性 ,指出针尖 - 样 品卷积效应和假象产生的原因 ,并例证其应用领域及其测试效果 。 关键词 　原子力显微镜 　卷积 　假象 　　与电子显微镜相比,原子力显微镜有很多方面 的优势 :如样品准备简单 ,样品导电与否都能适合该 仪器 ;操作环境不受限制 , 即可以在真空 ,也可以在 大气中进行 ;并且可以对所测区域的面粗糙度值进 行统计等等 。自上世纪 80 年代第一台原子力显微 镜问世至今 ,分辨率和稳定性得到极大提高 ,得到越 来越广泛的应用 。但同时也有其 自身的缺点 , 由于 各方面的影响因素 , 图像有时会产生假相等 。本文 分析针尖对样品的放大和缩小效应产生的原因 ,并 对测试中出现的假象进行祥述 , 同时举例说明该仪 器的应用领域和测试效果 。 图 1　扫描运动方向和数据点的采集 1　原理 描范围较大时 ,应该选择较小的扫描速度 ,这样采集 1. 1　敲击模式和接触模式的基本原理 的数据才足够多 。由于压 电陶瓷扫描器固有的误 对于原子力显微镜 , 通用 的工作模式有接触 差 ,在扫描过程中会产生一定的漂移 ,特别是当扫描 ( ) ( ) 范围小于 50nm ×50nm 时 ,可能造成所选区域的某 A FM 和敲击式 tapp ing A FM 。在敲击模式中 ,一 种恒定的驱使力使探针悬臂以一定的频率振动 。当 行重复扫描 ,从而造成假象 ,所以此时应该选用较大 针尖刚接触样品时 , 悬臂振幅会减少到某一数值 。 的扫描速度而减小误差 。 在扫描过程中 ,反馈回路维持悬臂振幅在这一数值 2　敲击模式的优越性 恒定 ,亦即作用在样品上的力恒定 ,通过记录压电陶 瓷管的移动得到样品表面形貌图。对于接触模式 , 与敲击模式相比,接触模式的分辨率相对要高 由于探针和样品间的相互作用力会引起微悬臂发生 一些 ,但敲击模式有其突出的优点 。它在一定程度 形变 ,也就是说微悬臂的形变作为样品和针尖相互 上减小样品对针尖的粘滞现象 , 因为针尖与样品表 作用力的直接度量 。同上述轻敲式 ,反馈系统保持 面接触时 ,利用其振幅来克服针尖 - 样品间的粘附 针尖 —样品作用力恒定从而得到表面形貌图。 力 。并且由于敲击模式作用力是垂直的 ,表面材料 原子力显微镜是用微小探针 “摸索 ”样品表面 受横向摩擦力和剪切力的影响都比较小 ,减小扫描 来获得信息 ,所以测得的图像是样品最表面的形貌 , 过程中针尖对样品的损坏 。所以对于较软以及粘性 而没有深度信息 。扫描过程中 ,探针在选定区域沿 较大的样品 ,尽量选用敲击模式 。 ( ) 着样品表面逐行扫描 见图 1 。 敲击模式下 ,可以同时采集高度信息和相位信 1. 2 　测试过程中的技术参数的选择 息 ,在得到形貌图的同时 ,通过相检测系统可以同时 由原理可以看出原子力显微镜采集的是样品表 得到相图。同一般检测系统一样 ,相检测用悬臂反 面的三维信息 ,因而能生成三维的图像