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第28卷 第 11期 核 技 术 Vol.28,No.Il 2005年 11月 NUCLEARTECHNIQUES November2005 基于硅光二极管阵列的X射线探测器的研制 武志宗 江美玲 梁平治 (中国科学院上海技术物理研究所 上海200083) 摘要 介绍了10元CsI(TI)闪烁晶体与10元硅光二极管阵列祸合而成的X射线探测器的设计制造过程。其 中，二极管光敏元为0.75mmx1.25mm的窄条形，中心距为1.25mm，外观尺寸为12.5mmx1.25mm;闪烁 体单元为1.0mmx1.5mm的窄条形，中心距为1.25mm，外观尺寸为12.5mmx1.9mm。对该探测器的硅光二 极管进行了光谱测试和噪声测试，对射线探测器进行了串音和均匀性等性能测试。二极管的噪声为 10一勺， 射线探测器的非均匀性为0.08，有串音现象发生。对存在的问题进行了分析讨论并提出了改进方案。 关键词 光敏二极管，CsI(TI)闪烁晶体，X射线探测器 中图分类号 TL814,0572.11 X射线探测器应用于医学、天文学、安检、无 门、光敏二极管、复位及输出放大管等五部分组成。 损检测等许多领域。对X射线探测器的研究也在不 图中Vi,Cp为器件的驱动脉冲，Vdd,gnd,VD和 停地发展。胶片成像系统是最古老的X射线成像系 VR为器件的工作电平，Q为移位寄存器的输出检验 统，至今还应用在许多较为落后的医院等地方。虽 信号，Vr为复位脉冲，Vout为信号输出端。图2为 然这样的系统具有优越的空间分辨率，但这种方法 其时序图。 效率非常低，需要较多的人力资源，而且不能提供 实时成像应用。此外，传统的探测器如用光电倍增 管(PMT)与NaI闪烁晶体组成的探测器以及硅铿 漂移探测器等由于受到自身许多局限而不能为人们 广泛地应用。前者存在体积庞大、NaI闪烁晶体易 潮解、PMT需要稳定高压维持工作等不足，后者则 受需低温冷却的限制。 近年来，随着硅工艺技术的发展与成熟，人们 对基于硅工艺的X射线探测器的研究也越来越多并 取得了许多成果。这些成果中包括闪烁晶体与雪崩 图1 10光敏二极管阵列结构示意图 二极管、PIN二极管等组装制造的射线探测器。本 Fig.1Structureof10-elementphotodiodearray 文介绍就我们自行研制的以硅光二极管线列为基础 的X射线探测器的研制及测试结果。 1X射线探测器的结构及制备 研制的X射线探测器由闪烁晶体和阵列硅光二 极管两部分组成。闪烁晶体把人射的X射线转化为 图2 阵列光敏二极管的时序图 可见光，二极管感应可见光，转化为电信号，再由 Fig.2Timingchartofphotodiodearray 读出电路读出。 1.1 带自扫描电路的阵列硅光二极管的结构及工 器件的工作过程为:起始信号V.;为高电平， 作原理 在移位寄存器的作用下，每一个时钟周期后移一位， 当这个信号到达某一位时，该位寻址线上的开关打 器件结构如图I所示，它由移位寄存器、传输 开，于是该位光敏二极管上的信号就通过开关和输 第一作者 武志宗，男，1981年12月出生，2005年于中国科学院上海技术物理研究所获硕学位，从事x射线探测器的研制工作 收稿日期 2005-03-04，修回日期:2005-04-25 第 11期 武志宗等:基于硅光二极管阵列的X射线探测器的研制 出放大管被读出。移位寄存器 V;.每移一位，就有 种晶体的光谱发射图。图4为CsI(TI)的光谱发射 一位信号的读出，当完成10