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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ， ， ，
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磷掺杂纳米硅薄膜的研制!
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刘 明 王子欧 奚中和 何宇亮
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! （中国科学院微电子中心，北京 ）
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（北京大学微电子中心，北京 ）
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# （北京大学电子工程系，北京 ）
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$ （南京大学固体微结构物理国家实验室，南京 ）
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（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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用 薄膜沉积方法，成功地制备了磷掺杂纳米硅（ ：（））薄膜 用扫描隧道电镜（ ）、 散
+,-./ 012345 + * 367 89:90
射、傅里叶变换红外吸收（ ）谱、电子自旋共振（ ）、共振核反应（ ）技术对掺磷纳米硅进行了结构分析，
;68 ,38 8=8
确认了样品的微结构为纳米相结构 掺磷后膜中纳米晶粒的平均尺寸 减小，一般在 — 之间，且排列更
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加有序 掺磷 ： 膜具有较高的光吸收系数，光学带隙在 — 之间，和本征 ： 相同 掺杂 ：
* 012345 !(# !(’@. 012345 * 01234
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薄膜电导率在 — · 之间，比本征 ： 提高了二个数量级，室温暗电导最高已达 ·
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