激光纳米制造技术的应用（邀请论文）.pdfVIP

第 38卷 第 6期 中 国 激 光 Vo1．38。No．6 2O11年 6月 CHINESEJOURNALOFLASERS June。2o11 激光纳米制造技术的应用 (邀请论文) 钟敏霖 范培迅 (清华大学机械工程系激光加工研究 中心先进成形制造教育部重点实验室 ，北京 100084) 摘要 纳米制造技术是 目前全球关注和研究的重点，激光纳米制造是其 中的主要核心技术之一。从激光远场尤其 是近场纳米制造技术的角度 ，介绍 了表面纳米结构和三维纳米结构 ／器件的制造 ，重点论述 了激光纳米制造技术在 一 些新兴领域的应用 ，包括超材料 、光子晶体、数据存储 、生物医学、传感器 以及功能表面等 ，以期从应用角度 引起 对激光纳米制造技术的更多关注和研究 。 关键词 激光技术 ；纳米制造 ；应用 ；超材料 ；光子晶体 ；功能表面 中图分类 号 TN249 文献标识码 A doi：10．3788／CJL201138．0601001 ApplicatiOnsofLaserNanoM anufacturingTechnol0gies ZhongMinlin FanPeixun (KeyLaboratoryforAdvancedMaterialsProcessing，MinistryofEducation，LaserProcessingResearchCentre， DepartmentofMechanicalEngineering，TsinghuaUniversity，Beqing100084，China) Abstract Nano manufacturing technologies attract global attention and research， among which laser nano manufacturingiSakeyfocus．Startingwiththeintroductionoflaserfar—field nano—manufacturing technologiesand especiallynear-·fieldnano．·manufacturingtechniquesforfabricationofsurfacenanostructuresand3Dnanostructures／ devices，thesummarizing ofemerging applicationsofthese technologiesisfocused on，including metamaterials， photoniccrystals，datastorage，biomedicalapplications，sensorsandfunctionalsurfaces．Thedetailsummaryofthe emergingapplicationsofnano—manufacturing technologiesisaimedatstimularingtheresearch anddevelopmentof lasernanomanufacturing technologies． Keywords lasertechnique；nanomanufacturing；application；metamaterial；photoniccrystals；functionalsurface OCIScodes 160．4236：160．3380：140．3380 1 引 言 备出多种零维纳米颗粒 ，一维纳米管 、纳米线、纳米 纳米材料具备小尺寸效应 、表面效应 、量子效 棒 ，二维纳米薄膜 以及三维纳米块体与纳米结构等。 应 、宏观量子隧道效应 以及特殊 的光学、