激光微喷丸强化纯铜表面的纳米压痕分析.pdfVIP

第 38卷 第 6期 中 国 激 光 VolJ38，No．6 2011年 6月 CHINESEJOURNALOFLASERS June，2011 激光微喷丸强化纯铜表面的纳米压痕分析 樊玉杰 周建忠 黄 舒 范金荣 王呈栋 王 维 卫登辉 朱 伟 高 彬 (江苏大学机械工程学院，江苏 镇江 212013) 摘要 采用纳米压痕技 术对纯铜试样进行了力学性能测试 ，包括纳米硬度和弹性模量 。结果表 明，激光微喷丸强 化区域的纳米硬度和弹性模量 比未喷丸区域高 ，最高值分别是未喷丸区域的4．21倍和2．39倍 。探讨 了喷丸区域的 纳米 硬度 和弹性模量的变化规律 ，分析了主要影响因素和强化机理。通过纳米压痕技术对材料表面力学性能的合 理表征，为激光微 喷丸强化过程中的工艺参数选择和表面质量 的有效控制提供理论指导。 关键词 激光技术 ；硬度 ；弹性模量 ；纳米压痕技术 ；表征 中图分类号 TN249；TGl56．99 文献标识码 A doi：10．3788／CJI201138．0603026 Research onMechanicalResponseofCopperTreatedbyM icro LaserShock PeeningUsingNan0indentationTechnique FanYujie ZhouJianzhong HuangShu FanJinrong WangChengdong WangWei WeiDenghui ZhuWei GaoBin (SchoolofMechanicalEnginee~’g，JiangsuUniversity，Zhenjiang，Jiangsu212013，China) Abstract Experimentalresearch ofnano．hardnessand elasticmodulusofcopper treated by micro laser shock peening (uLSP)iscarriedout．Theresultsshow thatnano—hardnessandelasticmodulustreatedbyvLSParehigher thanthoseofsubstrate，withthemaximaof4．21and2．39times．respectively．Change1aWSofnano—hardnessand elasticmodulusinshockregionareexplored，andmainfactorsandstrengtheningmechanism arediscussed．With reasonablecharacterizati0n ofsurface mechanicalperformance by nanoindentati0n technique，good guidance on parameteroptimalselection forfurtherstudyofsurfacemechanica1performance in “LSP iSprovided． Keywords lasertechnique；hardness；elasticmodulus；nanoindentation technique；characterization OCIScodes 140．3440；140．3538；320．5520；140．3390 1 引 言 或局部产生适度残余应力分布 ，增加受喷区域的硬 激光喷丸是一种新的表面改性技术 ，能够产生 度及弹性模量，大幅改善微构件的力学性能 ，进而提 高强度的冲击波，在材料表面产生几百兆 帕的残余 高其可靠性 ，从制造源头解决 MEMS中金属微器件 压应力，提高零件 的疲劳寿命和强度 。激