碳纳米管与外电路的连接技术进展.pdfVIP

)3凸工、澳5量与设备 Processing，MeasurementandEquipment 碳纳米管与外电路的连接技术进展 赵 波 ，齐红霞，孟跃红 (徐州师范大学 物理与 电子工程学院，江苏 徐州 221116) 摘要 ：首先，介绍了碳纳米管电子器件应用 中的关键工艺技术——碳纳米管与外电路 的连接技 术，回顾 了碳纳米管与外电路装配的发展历程。从碳纳米管在 电极 间的随机连接到电场定位组装 和原子力显微镜的可控操纵，描述 了各种装配方法的特点。其次，讨论 了碳纳米管与外电路连接 的可靠性 问题 ，并介绍了电子束、扫描探针显微镜和超声波等多种改善接触性能的焊接方法。最 后 ，简单展望了碳纳米管与外电路连接的发展趋势，指出数 目可控的碳纳米管组装技术和规模化 的焊接 工艺是今后研究工作的重点。 关键词 ：碳纳米管 (CNT)；纳电子器件 ；组装 ；连接 ；可靠性 中图分类号 ：TB383 文献标识码 ：A 文章编号：1671—4776 (2011)06—0403—08 DevelopmentoftheInterconnectionTechnologyBetweenCarbon NanotubesandExternalCircuits ZhaoBo，QiHongxia，MengYuehong (DepartmentofPhysicsandElectronicEngineering，XuzhouNormalUniversity，Xuzhou221116，China) Abstract：Theinterconnectionmethodsbetweencarbonnanotubes (CNTs)andexternalcircuits areintroducedfirstly．whicharekeytechnologiesin theapplicationsofCNT electrondevices． ThedevelopmenthistoryoftheassemblyforCNTsandexternalcircuitsiSreviewed．Thecharac— teristicsofCNT assemblymethodsaredescribed from the stochasticbridgebetween the elec— trodesofCNTstothecontrolledoperationoftheorientationassemblyusingelectricfieldandthe atomicforcemicroscopy．Then。thereliabilityoftheinterconnectionbetweenCNTsandexternal circuitsisdiscussed．In addition，someweldingmethodstoimprovethecontactpropertiesbe— tween CNTsandexternalcircuitsarereviewed，suchastheelectronbeam ，scanningprobemicro— scopeand ultrasonicwave．Finally，the developmenttendency oftheinterconnection between CNTsandexternalcircuitsiSprospected．ItiSpointedoutthatthenumbercontrolledCNT as- semblyandlarge—scaleweldingprocessaretheresearchemphasisinthefuture． Keywords：carbonnanotube (CNT)；nanoelectrondevice；assembly；interconnection；reliability DoI：10．3969／j．issn．1671—4776．2