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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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离子轰击控制准直碳纳米管生长的研究!
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王必本 张 兵 郑 坤 郝 伟
(北京工业大学应用数理学院,北京 ###$$ )
王万录 廖克俊
(重庆大学数理学院,重庆 %###%% )
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿)
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用 , 和 作为反应气体,利用等离子体增强热丝化学汽相沉积制备出准直碳纳米管,并用扫描电子显
)* * +*
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微镜研究了不同负偏压对准直碳纳米管生长的影响 结果表明,随着负偏压的增大,准直碳纳米管的平均直径减
,
小、平均长度增大, 由于辉光放电的产生,在衬底表面附近形成阴极鞘层,并在阴极鞘层内形成大量的离子和在衬
底表面附近形成很强的电场 离子在电场的作用下对衬底表面的强烈轰击将对准直碳纳米管的生长产生影响 结
, ,
合有关理论,分析和讨论了离子的轰击对准直碳纳米管生长的影响,
关键词:准直碳纳米管,离子轰击,负偏压
: ,
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场 $ , 离子在强电场作用下,对衬底表面的强烈
B 引 言 轰击导致离子的轰击对准直碳纳米管生长产生重大
的影响,
[]
自从44 年C8=867 用电子显微镜观察到碳纳
米管之后,由于它独特的性能(如高的长径比、高的 $ B 实验及结果
[] []
$
力学强度 、依赖于直径和螺旋性的导电性能
制备准直碳纳米管的 系统如图 所示 灯
等),碳纳米管的研究受到了人们极大的关注,并在
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