不同衬底上VO2薄膜的微观结构和光学性能研究.pdfVIP

第37卷 第5期 稀有金属材料与工程 V01．37，No．5 2008矩 AND 5月 RAREMETALMATE剐渔LSENGINEERING 2008 May 不同衬底上V02薄膜的微观结构和光学性能研究 颜家振，黄婉霞，张 月，刘小杰，涂铭旌 、 (四川大学，四川成都610064) 摘 分析了不同衬底上薄膜的微观结构和光学性能。结果表明，云母表面V02薄膜常温下呈单一的(011)取向，而玻璃表面 晶体取向对其光学性能的影响。 关键词：云母衬底；V02薄膜；热致相变；结晶取向 135．1 中图法分类号：TG 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2008)05．0819．04 云母片。 V02在温度68℃发生从半导体相到金属相的转 变，当低于68℃，半导体相v02呈畸变金红石型结 法，取5．0 构(单斜)；当温度高于68℃，金属相V02呈四方金 gV205粉体，在750℃下将其溶化，迅速 mL去离子水中，搅拌2h后过 红石型结构。伴随着相变过程的发生，单晶V02的电 将熔融V205倒入300 阻变化达5个数量级，红外光透过率和反射率也会发 滤，得到深棕色V205溶胶。薄的云母片和玻璃片在乙 生突变【l捌。由于这种特性，V02薄膜材料可应用在光 醇溶液中浸泡洗涤，然后依次在盐酸、双氧水的混合 学电学开关，热敏材料，光存储材料，激光防护装置 液(体积比2：5)和氨水、双氧水的混合液(体积比2：5) 等领域[3，41。 中煮沸洗涤各O．5h。采用浸涂法制备薄膜，将洗涤干 燥后的云母片和玻璃片浸入溶胶中，缓慢提出，然后 研究发现[5，6J，衬底材料直接影响V02薄膜的形 貌，结晶颗粒及结晶取向，从而对V02薄膜的光学和 在灯光下干燥，重复2次，即可以得到干燥后的V205 电学性能产生影响。衬底规则排列的表面容易形成外 凝胶薄膜。将凝胶薄膜在一定的气氛中和温度下进行 形规则的晶核，亦更有利于规则晶核的取向生长【_丌。 退火还原，得到V02薄膜。 天然白云母结晶为六方单斜结构，由2个Si．O四面体 层夹着一层A1．OJk面体而构成的典型硅铝酸盐层状 结构，各层之间由表面吸附的金属阳离子层的静电力 连接在一起，结合力较弱【引。故而云母容易沿其(001)测试薄膜在不同温度下的中红外光透过率。 晶面解理，暴露出规则排列的(001)晶面。本研究首 2结果与讨论 次采用云母(001)晶面为衬底材料在其表面制备V02 薄膜，并与在普通玻璃表面所制备的V02进行了微观 2．1还原工艺及薄膜结构分析 结构和光学性能的比较研究。结果表明，在云母(001) 退火还原工艺优化表明，玻璃表面的V：O，凝胶薄 表面更容易得到具有明显热致相变效应的V02薄膜， 膜需要在460℃，H2和N2以一定比例混合的流动性 气氛中退火还原3h以上才能获得有明显热致相变的 而且V02薄膜在其表面按(011)单一取向排列，相变前 后在中红外光区的透过率变化要大于以玻璃为衬底 V02薄膜，而在云母表面的V205凝胶薄膜只需要在 的V02薄膜，表现出更优异的光学开关性