氧化钨二氧化钛复合共生薄膜的拉曼光谱结构研究.pdfVIP

第32卷，第11期 光谱学与光谱分析 2O1 and 2 2年11月 SpectrOscopySpectmlAnalysis November，201 氧化钨二氧化钛复合共生薄膜的拉曼光谱结构研究 吕 刚h2，吴永刚弘，伍和云2，夏子奂2，刘仁臣2 1．山东农业大学信息科学与工程学院，山东泰安271000 2．同济大学物理系，上海200092 摘要采用电子柬及真空热蒸发的方式镀制了氧化钨薄膜及掺杂的氧化钨的复合共生薄膜。运用拉曼光 谱以及电化学工作站等测试手段分析了氧化钨复合共生薄膜的结构及电致变色性能。通过对拉曼光谱曲线 的解叠分峰处理发现，源于晶相的810cmq拉曼峰的相对强度变化与样品的致色效率存在负相关，即拉曼 峰相对强度越小，样品的致色效率越高。 关键词氧化钨；二氧化钛；电致变色；拉曼光谱 中图分类号：0657．3文献标识码：A 引 言 溅射镀膜机上完成。氧化钨薄膜厚度约为300啪，纳米银层 氧化钨因其独特奇异的性能受到了众多研究者的关注。 啪，通过控制二氧化钛和氧化钨薄膜的蒸发速率，使薄膜中 尤其作为电致变色材料，研究者对其进行了长时间的广泛的 二氧化钛的质量含量比约为15％。实验共制备了三种样品， 大量研究。拉曼光谱作为重要的分子结构研究手段得到了大 n·口～。电子 量的应用。研究者研究了氧化钨薄膜随温度的变化得拉曼光 Ag／11、0。11、O导电玻璃表面电阻率约为60 谱的变化[1’2]，发现低温镀制的氧化钨薄膜在950cm-1处出束蒸发及电阻热蒸发时沉积速率由晶振实时监控，通过控制 现了明显异于晶体氧化钨的拉曼峰，同时随温度的升高，这 电子束流以及蒸发电流来获得稳定的沉积速率，沉积完成后 个拉曼峰会逐渐减弱，甚至消失，因此拉曼光谱可以很好的 放置于干燥柜中保存(温度25℃，湿度30％)。 揭示氧化钨薄膜的结构变化。同时在对氧化钨薄膜的研究 中，很多研究者采用掺杂的方式来提高薄膜的电致变色性 2拉曼光谱分析 能‘3“。 本文通过对单纯氧化钨薄膜以及不同掺杂的复合共生氧 图1为镀膜使用的氧化钨粉末压块的拉曼光谱。在719 化钨薄膜进行拉曼光谱测试，对拉曼光谱的峰值进行拟合。 发现峰值的相对强度变化与薄膜的电致变色性能有着密切的 关联，从而解释了掺杂对氧化钨薄膜电致变色性能产生影响 的原因。 尝30000 1实验部分 二氧化钛薄膜采用电子束蒸发的方式镀制，氧化钨薄膜 0 采用电阻热蒸发的方式镀制，薄膜厚度由台阶仪及电子扫描 O 3006009001 2001 500 显微镜来确定。纳米银薄膜采用直流磁控溅射的方式镀制， Waven岫be“cmll 厚度根据溅射功率及溅射时间来确定。电子束及热蒸发制备 n昏1№嗍spec衄ofW伤p0啊der 收稿日期：20n一1z—z8。修订日期：2012一03一05 基金项目：国家自然科学基金项目资助 作者简介：吕 刚，1977年生，山东农业大学信息科学与工程学院讲师e_mail：0910103015@torlgji．edu．cn *通讯联系人 e-mail=ygwu@ton画i．edu．cn 万方数据 第ll期 光谱学与光谱分析