快速热退火对纳米晶粒SnO2薄膜性质的影响.pdfVIP

第27卷第2期 红外与毫米波学报 V01．27．No．2 2008年4月 Millim．Waves April，2008 J．Infrared 文章编号：1001—9014(2008)02—0101—04 快速热退火对纳米晶粒Sn02薄膜性质的影响 秦苏梅1， 童梓洋1，邓红梅2，杨平雄1 (1．华东师范大学信息学院，上海200241；2．上海大学分析测试中心，上海200444) 摘要：以SnCl：·2H：O及无水乙醇为原料，利用溶胶-凝肢法在快速热退火下制备了SnO：纳米薄膜，研究了快速热 微结构、表面形貌与快速热退火条件的关联，用傅里叶变换红外光谱(Fr—IR)和光致发光研究了薄膜的光学性质． 结果表明，快速热退火(RTA)温度对薄膜的光学性质、晶粒尺寸和薄膜的结构形态均有较大的影响． 关键词：纳米二氧化锡；溶胶．凝胶法(s01．gel)；快速热退火(RTA) 中图分类号：04．47 文献标识码：A EFFECToFRAPIDTHERMAL ANNEALINGON PROPERTYOF THINFILM NANO·Sn02 Su-Mei QIN 1，TONGZi—Yang1，GUO1，DENGHong．Mei2，YANG Ming Ping．Xion91 of ChinaNormal (1．Departmentelectronics，EastUniversity，Shanghai200062，China； 2．Instrumental Analysis＆ResearchCenter，ShanghaiUniversity，Shanghai200444，China) O鸹mainmaterialsand thinfilmswere Abstract：ByusingSnCl22H2 ethanol鹅solvent，nano—Sn02preparedbysol—gel with thermal effectof thermal of thin techniquerapid annealing(RTA)．Therapid annealing(RTA)onpropertyllano·Sn02 filmwas sizeof andthe of thinfilms grains，themicrostructure，the explored．The morphologyopticalpropertiesnano-Sn02 werecharacterized andYI一IR．Theresultsindicatethatthe andthe mi— XRD，SEM，PL by opticalproperty grain-size，the the ofthe withdifferent ofRTA． crostmcture，andmorphologysampleschangeevidently temperature thermal Keywords：Sn02；sol—gel；rapidannealing(RTA)