连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究.pdfVIP

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2017-09-11 发布于江西
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连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究.pdf

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第24卷第1期无机材料学报 V01．24．No．I of Materials Journal 2009年1月 Inorganic Jan．，2009 文章编号：1000-324X(2009)01-0008-05 连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究诸葛福伟1’2，高相东1，李效民1，甘小燕1’2 (1．中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室，上海200050；2．中国科学院研究生院，北京100049) 玻璃衬底上的沉积．通过x射线衍射、扫描电镜和紫外．可见光透过谱等手段表征薄膜结晶性、表面和断面微观形貌以及光学特性．结果表明，衬底以及溶剂性质均对SILAR法薄膜沉积过程存在重要影响．ITO衬底上获得的CuSCN薄膜更为致密，呈结晶态，而TiO：薄膜衬底上的CuSCN薄膜主要由颗粒组成，为非晶态．随沉积次数增加，薄膜表面粗糙度增大，光学透过率逐渐下降．在优化条件下(ITO衬底，20次沉积循环)，所得CuSCN薄膜表面致密均匀，可见光透过率约 60％．关键词：CuSCN；连续式离子层吸附与反应；微观结构；光学性能中图分类号：0472 文献标识码：A Thin Microstructureand ofCuSCNFilm OpticalProperties Depositedby Ionic and Successive LayerAdsorption ZHUGE Xiao．Yahl·2 Fu．Weil，2，GAOXiang．Don91，LIXiao．Minl，GAN ofthe Instituteof of Chi· (1．Shnshai Ceramics，ChineseAcademySciences，Shanghai200050，China；2．GraduateUniversity n∞e of AcademySciences，Beijing100049，China) filmswere on and sub- depositedITO，spin-coatedTi02 Abstract：Cuprousthiocyanate(CuSCN)thin glass stratessuccessiveion and in reaction(SILAR)method by layeradsorption ethylene and oftheCuSCNthinfilmswerecharacterized Crystallinity，surfacemorphologyopti