蓝宝石衬底上水平生长ZO紫外敏感性能研究.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ! # 6789! )79# ! ! ! ! ! ! 年 月 ! !$$% # PFO$OHWTAFES WG$ONPWF9TWA$ ,:;9!$$% 蓝宝石衬底上水平生长ZO纳米线及 紫外敏感性能研究 ! ! # #! # # # 邓 宏 唐 斌 程 和 韦 敏 陈金菊 ! ! ! ! ! ! ! ! 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室!成都 $ # N#$$JV ! 西南石油大学理学院!成都 $ ! N#$J$$ ! 摘要!在无催化剂条件下!采用化学气相沉积 $方法在蓝宝石 $衬底上制备了 纳米线 射线衍 89 ##$ L0W =@ 射 $图谱上只有 的 $衍射峰和 $衍射峰 扫描电子显微镜分析表明! 纳米线在蓝宝石衬 @A9 L0W #$$ ##$ = L0W 底上水平生长 在样品上蒸镀了金叉指电极!以 的紫外光作为光源!测试了样品的紫外光敏感性能!研究 = !JN0! 表明水平生长的 纳米线对紫外光具有较快的响应!在 偏压下!光电流与暗电流比为 %当波长为 L0W J8 M$ 时光响应度达到最大值为 MJV0! $UJNE R = 关键词!L0W 纳米线%紫外敏感%’C( 特性%光响应度 # % % FB11 %MN$S ##J %e%$ 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # WVN! E $!JM#V#%%!$$%$##$$JN#$V ! ! ! ! ! ! 89 方法制备出了水平生长的L0W 纳米线!而且 G 引言 研究表明!样品对紫外光的响应速度很快!灵敏度 ! 很高!光响