氧化锌导电类型转化的热力学分析.pdfVIP

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2017-09-11 发布于重庆
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氧化锌导电类型转化的热力学分析.pdf

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第卷第期年月物理学报 2 * (%%2 * ，，， H;6 02 V; 0* WF,8 (%%2 （） $%%%/=(’%O(%%2O2 %* O()’=/%* NPJN QRSTUPN TUVUPN $(%%2 PB5, 0 QBXY 0 T; 0 ############################################################### 氧化锌导电类型转化的热力学分析 ! 王洪波张景文杨晓东刘振玲徐庆安侯洵（西安交通大学信息光子技术省重点实验室，西安 #$%%’ ）（年月日收到；年月日收到修改稿） (%% ) * (%% ’ (’ 为了更好了解在型转化中存在的困难，文章对其进行了本征点缺陷的热力学分析，得到了热平衡状态 +,- . 时，中主要的点缺陷浓度与环境温度和氧气压的关系，并做出了其图根据热力学分析结果，可以看出在 +,- !/ 0 热平衡状态下实现型转化具有非常大的困难；还指出了型转化的有效途径相关的试验也证明了这种分析的 . . 0 可行性0 关键词：型转化，本征点缺陷，热力学分析，图 . !/ ：，， !## #()%1 *$#% %2#% $G 引言 ( G 本征点缺陷热力学分析的基本原理［］ $* 众所周知，是一种新型的族直接带隙在化学反应平衡中，化学势满足关系： +,- / ! 的宽禁带半导体材料室温下禁带宽度约 0 +,- = G=# （生成物）K （反应物），其中，是化 ! ! !