条纹相位分析小区域平整度检测.pdfVIP

第35卷 第6期 激 光 技 术 Vo1．35，No．6 2011年 11月 LASER TECHN0L0GY November，2011 文章编号 ：1001．3806(2011)06—0784—03 条纹相位分析小区域平整度检测 杨初平，纪婧如，谭穗妍，林盈洪 (华南农业大学 物理系，广州510642) 摘要：为了对漫反射材料小尺寸平面的平整度进行检测，提出采用载频条纹相位分析的方法。该方法采用激光作 为照明光源，通过相干获得周期为 100~m的条纹，使用傅里叶变换条纹相位分析提取待测表面的调制相位并可以转换 为表面高度分布，从而能够实现对材料表面平整度的评价。结果表明，系统高度分辨力为 101xm；考虑到噪声的影响，实 际分辨力可以达到20txm。所给出的实际实验结果显示该方法是可行的。 关键词：信息光学；平整度检测；条纹分析 ；漫反射材料 中图分类号：0439 文献标识码 ：A doi：10．3969／j．issn．1001—3806．2011．06．017 Flatnessdetection ofsmallplanebymeansoffringephase YANGChu-ping，Jlring—Ftt，TAN Sui—yan，LIN Ying—hong (DepartmentofPhysics，SouthChinaAgnculturalUniversity，Guangzhou510642，China) Abstract：InordertodetectandevaluatetheflatnessofsmalIplaneofdiflusereflection，amethodwaspresentedbasedon carrierfringephase analysis．With alaserasilluminating lightsource，acoherentrfinge pattern atperiod oflOOp~m was achieved．ThemodulatedphasedistributionofthetestingsurfacewasretrievedafterFouriertransform and conve~edintothe physicalheightdistribution，andthentheseheightdatawereapplied toevaluatethesurfaceflatness．Thedetailed theoretical analysiswaspresented．ThetheoreticalheightresolutioncanreachlOtLm．Duetotheeffectofthenoise，theexperimentalheight resolutiononlyreached20pan．Theexperimentalresultsprovethatthemethodisvalid． Keywords：informationoptics；flatnessdetection；fringeanalysis；diffusereflectionmaterial 够提供整个待测平面的高度信息，对每幅尺寸为480像 引 言 素 ×640像素的像 ，可以提供的表面高度信息达到30 表面平整度是材料的一个重要物理参量，对表面 万点。该方法通过对测量表面 3维面形信息的提取， 平整度进行检测一直受到人们关注，并提出了许多检 从而准确掌握测量表面平整度信息，与载频条纹相位 测方法 ¨引，属于接触测量的有千分尺法、水平仪法，但 分析应用于3维形