SK海力士企业自测方案.docVIP

SK海力士半导体（中国）有限公司 自行监测方案 2013年12月 一、企业基本情况 SK海力士半导体（中国）有限公司位于江苏省无锡高新技术开发区出口加工区K7地块，作为中国国内最大规模、具备最先进技术的企业，SK海力士在DRAM生产及市场占有率均为国内第一，是中国国内半导体销售第一位的企业。公司总投资74亿美元，总占地面积541,560m2,总建筑面积391516m2。是江苏省最大的外资企业。 从2004年项目获批至今，SK海力士得到了飞速的发展。 2004.11.30公司一期项目《海力士-意法半导体有限公司》月产6万片8英寸及4万片12英寸超大规模集成电路设计项目》环评获批。 2007.03.27公司二期项目《海力士-意法半导体有限公司月产4万片12英寸超大规模集成电路建设项目》环评获批。 2008.09.30公司三期项目《海力士-恒亿半导体有限公司月产12英寸（线宽54nm/44nm DRM、41nm flash）18万张超大规模集成电路制造项目 》环评获批。 2011.11.28公司四期项目《海力士半导体（中国）有限公司月产12英寸（线宽20nm级）18万张超大规模集成电路产品升级技术改造项目 》环评获批。 二、监测依据 1．原国家环境保护局第10号令《排放污染物申报登记管理规定》1992年； 2．原国家环境保护总局第39号令《环境监测管理办法》2007年； 3．国务院办公厅国办发〔2013〕4号《“十二五”主要污染物总量减排考核办法》2013年； 4．环保部、国家统计局、国家发改委、监察部文件环发〔2013〕14号《“十二五”主要污染物总量减排监测办法》2013年； 5．相关国家污染物排放标准，监测方法标准。 三、污染源及治理措施 1.废水污染源及主要治理措施 废水分为生产废水和生活污水两大类。排水系统采用雨污分流制，按不同性质分别排放。 ①雨水：采用有组织雨水收集后排入厂区雨水管道，经高新技术开发区雨水管网汇集后排入地表水体。 ②生产废水：生产废水处理系统可分为酸性废水、含氟废水和有机废水三大类。 酸性废水和含氟废水经厂区污水处理站预处理后，经过专门的管网接无锡新区再生水示范工程进入深度处理后回用；有机废水和生活废水经处理后一起排入无锡新城污水厂处理；显影废水经预处理（氮氨转化），与高氮废水吹脱后的废水和有机废水混合进入生物处理系统处理；生活污水经隔栅、化粪池后与全厂处理后废水一起排入无锡新城污水厂处理。 ③生活污水：包括生活粪便污水、食堂含油污水等。 废水排放及治理措施 序号 废水类别 出现的工序 主要污染因子 处理方法 实际建设 排放去向 1 酸性废水 氧化、刻蚀 HNO3、H2SO4、HCl、PO43+ 中和 酸性废水中和处理排入德宝水务有限公司 无锡德宝水务有限公司 2 HF废水 刻蚀、BG/CMP HF、NH3、Cu、SS、PO43+ 化学沉淀 加入Ca(OH)2，沉淀处理后排入德宝水务有限公司 3 高氮、碱性废水 CVD NH4F、NH3-N 中和 高氮废水经吹脱处理后，与其他有机废水进入生化处理后，接管进入新城污水厂 废水分别处理后流入无锡新城污水处理厂处理 4 有机废水 废气洗涤， 晶元清洗 TN、各类氧化物 生化 含氮废水、显影废液分别进行沉淀、生物处理后再与有机废水一起处理 5 显影废水 显影 显影液四甲基氢氧化铵 生化 6 生活污水 办公、生活 COD、氨氮、 BOD5、总磷 / 经隔栅、化粪池后与全厂处理后废水一起排入无锡新城污水处理厂 7 冷却塔弃水 / / 沙滤 回收后经过多介质过滤器过滤后与全厂废水一起排入无锡新城污水处理厂 8 蒸汽冷凝水 / / 过滤 回收后经过超滤处理后作为 工业原水重复使用 2.废气污染源及主要治理措施 现有工程工艺废气主要分为一般排气（水蒸汽）、酸碱废气、特殊废气（含磷烷、砷烷和硅烷的有毒废气）、有机废气和含氟废气五类。 类别 废气种类 污染物名称 排气筒数量 处理设施 一级处理 二级处理及排放 12英寸 酸性废气 碱性废气 HCl、硫酸雾、NOX 、NH3 12（8用4备） 通过填料吸附装置、加热氧化装置、焚烧装置以及电离装置进行一级处理 经过水洗或酸碱洗涤进行二次处理后排放。 含氟废气 氟化物 8（5用3备） 有机废气 异丙醇 非甲烷总烃 2 有毒废气 磷烷、硅烷、砷烷 10（7用3备） 无组织源强# 发生点：化学品仓库和输送 氟化物、HCl、硫酸雾、NH3 / / / 3.噪声污染源及主要治理措施 噪声主要来源于空压机产生的噪声，还有真空泵、离心风机等设备噪声。本项目已通过建筑物隔声、采取消音减震等降噪措施，并在厂区内空余场地进行集中绿化后，厂界噪声可达到《工业企业厂界噪