薄膜的结构和光吸收性能JournalofInorganic.pdfVIP

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2017-09-10 发布于重庆
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薄膜的结构和光吸收性能JournalofInorganic.pdf

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第２４卷第１期无机材料学报Ｖｏｌ．２４，Ｎｏ．１２００９年１月　ＪｏｕｒｎａｌｏｆＩｎｏｒｇａｎｉｃＭａｔｅｒｉａｌｓ　　Ｊａｎ．，２００９文章编号：１０００３２４Ｘ（２００９）０１００３４０５钒掺杂纳米ＴｉＯ薄膜的结构和光吸收性能２张晓勇，晁明举，梁二军，胡　帆，袁　斌（郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室，郑州４５００５２）摘要：采用磁控溅射法制备了不同Ｖ含量的纳米ＴｉＯ薄膜，利用ＳＥＭ、ＸＲＤ、Ｒａｍａｎ光谱和ＵＶｖｉｓ吸收光谱对Ｖ掺杂２ＴｉＯ薄膜的表面形貌、结晶特性、晶格应力和光吸收性能进行了分析．结果表明，Ｖ掺杂可促进ＴｉＯ薄膜晶粒的定向生２２长，得到尺寸分布较均匀的哑铃状晶粒，且可抑制薄膜的晶格膨胀和金红石型晶粒的生成．Ｖ掺杂ＴｉＯ薄膜处于压应２力状态，且应力随Ｖ含量增加而增大．Ｖ掺杂使导带底向带隙延伸，ＴｉＯ薄膜光学带隙变窄，光响应范围从紫外区红移２ c 到可见光区域，提高了薄膜对可见光的吸收率． i 关　键　词：二氧化钛薄膜；钒掺杂；微观结构；光吸收性能 n 中图分类号：Ｏ６４３　　　　　　文献标识码：Ａ a ＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄＰｈｏｔｏａｂｓｏｒｐｔｉｏｎＰｒｏｐｅｒｔｙｏｆＶｄｏｐｅｄＮａｎｏＴｉＯＴｈｉｎＦｉｌｍｓ g ２ r ＺＨＡＮＧＸｉａｏＹｏｎｇ，ＣＨＡＯＭｉｎｇＪｕ，ＬＩＡＮＧＥｒＪｕｎ，ＨＵＦａｎ，ＹＵＡＮＢｉｎ（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｈｙｓｉｃｓ＆ＫｅｙＬａｂ．ｏｆＭａｔｅｒｉａｌＰｈｙｓｉｃｓｏｆＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ，ＺｈｅｎｇｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ，４５００５２， o Ｃｈｉｎａ） n s Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＶｄｏｐｅｄｎａｎｏＴｉＯｔｈｉｎｆｉｌｍｓｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔＶｄｏｐｉｎｇｓｗｅｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｂｙｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ２ I l ｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｂｓｅｒｖａｔｉｏｎａｎｄｃｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎｍｅｃｈａｎｉｓｍｏｆｔｈｅｆｉｌｍｓｗｅｒｅｐｅｒｆｏｒｍｅｄｂｙｓｃａｎ f ｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（ＳＥＭ）ａｎｄＸｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｏｍｅｔｅｒ（ＸＲＤ）．ＲａｍａｎｓｐｅｃｔｒｕｍａｎｄＵＶｖｉｓｔｒａｎｓｍｉｔ a i ｔａｎｃｅｓｐｅｃｔｒｕｍｏｆｔｈｅｆｉｌｍｓｗｅｒｅａｌｓｏａｃｃｏｍｐｌｉｓｈｅｄｂｙＲａｍａｎｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒａｎｄｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｖ