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物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援苑 渊圆园员员冤摇 园苑苑愿园猿 大功率全方位反射镜发光二极管性能研究鄢 董雅娟摇 张俊兵摇 陈海涛摇 曾祥华覮 渊扬州大学物理科学与技术学院袁扬州摇 圆圆缘园园圆冤 渊圆园员园年员园月圆 日收到曰圆园员园年员员月猿 日收到修改稿冤 摇 摇 在现有工艺条件下通过简单工艺实现大功率 郧葬晕基多量子阱全方位反射镜渊韵阅砸冤发光二极管渊蕴耘阅冤的研 制袁并对试制蕴耘阅样品进行了光学尧电学和色参数三个方面性能测试援测试结果发现袁韵阅砸芯片比普通芯片的光强 提高了圆源源皂糟凿袁极大提高了发光强度曰韵阅砸蕴耘阅光通量尧光效尧色纯度比普通 蕴耘阅分别提高了远郾园源豫袁缘郾苑源豫袁 苑愿郾远源豫援韵阅砸蕴耘阅具有绝对优势是其色温要比普通蕴耘阅 的色温低员愿园源运袁明显改善大功率蕴耘阅的色温缺陷援 关键词院发光二极管袁韵阅砸袁色温 孕粤悦杂院苑愿援缘缘援悦则袁源圆援员缘援耘择袁苑愿援怨园援垣贼 示袁图圆 中蓝宝石衬底下酝蚤则则燥则为粤早辕杂蚤韵圆援 员郾 引 言 目前大功率蕴耘阅光提取效率比较低的一个重 要原因是蕴耘阅衬底的厚度比较大袁很大一部分有源 区发射的光入射到衬底层被衬底和电极等材料吸 收袁从而大大降低光的提取效率袁进而影响出光袁为 了改善这一缺陷袁近几年利用全方位反射镜 渊燥皂灶蚤凿蚤则藻糟贼蚤燥灶葬造则藻枣造藻糟贼燥则袁韵阅砸冤将有源区发出的射 图员摇 普通蕴耘阅 的对称指形电极图 向衬底的光反射出去是一个兴起的分支咱员要猿暂援栽怎 等咱员暂采用在灶韵接触作为反射镜减少光源射向顶部 时被不透明电极吸收的部分光线曰匀燥则灶早等咱圆暂在 杂蚤 衬底与有源区之间增加反射镜袁并在责袁灶 区两侧分 别做粗糙处理来增加出光袁制作工艺复杂曰李一博 等咱源暂的利用杂蚤做转移衬底袁粤怎做反光镜和键合界 面袁陨栽韵做缓冲层和窗口层制作基于粤怎辕粤怎 直接键 合的反光镜袁是金属反射镜袁与韵阅砸有本质区别并 且在实际操作中需要键合技术袁工艺相对复杂曰考 虑到粤早辕杂蚤韵圆 作为反射镜时袁入射光不论是栽耘模态 还是栽酝模态在不同角度上都有很高的反射率咱缘暂 袁 图圆摇 韵阅砸蕴耘阅剖面结构 所以本实验中采用现有的芯片袁先将蓝宝石衬底减 薄袁再在蓝宝石衬底上用 孕耘悦灾阅 分别镀上一层 杂蚤韵圆 和粤早袁即构成了白光韵阅砸蕴耘阅袁制作工艺简 圆郾 实验原理 单袁光强提高显著袁利于生产实际援实验中采用电极 形状如图员所示袁韵阅砸蕴耘阅芯片剖面结构如图圆所 图圆模拟了光在 韵阅砸蕴耘阅 内部发射时所经过 鄢国家自然科学基金渊批准号院员员园园源员苑园冤和江苏省科技项目渊批准号院月郧圆园园苑园圆远冤资助的课题援 覮通讯联系人援 耘鄄皂葬蚤造院曾澡扎藻灶早岳赠扎怎援藻凿怎援糟灶 訫圆园员员 中国物理学会悦澡蚤灶藻泽藻孕澡赠泽蚤糟葬造杂燥糟蚤藻贼赠 摇 澡贼贼责院辕辕憎怎造蚤曾遭援蚤责澡赠援葬糟援糟灶 园苑苑愿园猿鄄员摇摇摇摇 物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援苑 渊圆园员员冤摇 园苑苑愿园猿 的路径院当在责袁灶 电极上加上正向压降时袁责区空穴 测平均值较近的单元渊包含韵阅砸芯片与普通芯片各 与灶 区电子向有源区运动并发生辐射复合袁发出的 一个单元冤进行试制成蕴耘阅样品袁这两个单元裸芯片 光线有两条路径袁一条直接射出如图圆 中路径员袁另 在封装前的点测结果如表员表圆所示援从表员表圆测 一条射向衬底下的全方位反射镜袁并发生反射袁从 量结果中可以看出院韵阅砸芯片比普通芯片的光强 顶面或侧面射出如图圆 中路径圆袁从而增加光射出 员愿源苑