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清华大学学报 自然科学版 年 第 卷 第 期
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定向多壁碳纳米管薄膜及其场致发射距离敏感特性
郭琳瑞$= 叶雄英$= 周兆英$= 梁 吉*
清华大学 精密仪器与机械学系 北京 清华大学 机械工程系 北京
-$B = $%%%D(F*B = $%%%D(.
摘 要 研究了定向生长的多壁碳纳米管薄膜场致发射的 自 年日本电子显微镜专家 发现碳
G $CC$ !22J7
距离敏感特性 以改进现有场发射传感器中硅及金属针尖的 ?$@
! 纳米管以来 碳纳米管以其独特的力学 电学 化
= A A
性能 化学气相沉积方法制备的多壁碳纳米管薄膜表现出良
学特性 成为全世界纳米技术的研究热点之一 碳纳
= H
好的尖端放电特性 其开启电场可至 阈值电场
! #$% ( !
’ )* 米管长径比大 是理想的一维材料 它具有纳米尺
= F
可至 通过计算得到的尖端电场增强因子可至
$ ( !
’ )*
度的尖端曲率半径 在相对较低的电压下就能够发
=
以上 随着发射间距的增加 场致发射电流非线性地
%+,% !
射大量的电子 尖端放电特性非常好 通过化学气
= F
降低 发射电流对发射间距的最大变化率为
! +$+#-- (
).
相沉积的方法能够实现在基底上垂直均匀的碳纳米
通过拟合分析发现 场致发射电流随发射间距的变化基
)* !
管排列 从而增大发射电流密度 同时碳纳米管还
本符合 关系 该特性可作为碳纳米管场致 = F
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