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第八章 磁电型传感器与测量电路 8.3.1 磁栅与磁头 一．磁栅 磁栅结构如图8-18所示，磁栅基体1是用非导磁材料做成的，上面镀一层均匀的磁性薄膜2，经过录磁，其磁信号排列情况如图中所示，要求录磁信号幅度均匀，幅度变化应小于10％，节距均匀。目前长磁栅常用的磁信号节距一般为0.05 mm和0.02 mm两种，圆磁栅的角节距一般为几角分至几十角分。 图8-18 磁栅结构 1.磁栅基体； 2.磁性薄膜 磁栅基体1要有良好的加工性能和电镀性能，其线膨胀系数应与被测件接近，基体也常用钢制作，然后用镀铜的方法解决隔磁问题。 磁性薄膜2的剩余磁感应强度Br要大、矫顽力Hc要高、性能稳定、电镀均匀。目前常用的磁性薄膜材料为镍钴磷合金。 2．磁栅的类型 磁栅分为长磁栅和圆磁栅两大类，前者用于测量直线位移，后者用于测量角位移。长磁栅又可分为尺型、带型和同轴型三种。一般常用尺型磁栅，其外形如图8-19(a)所示。它是在一根非导磁材料(例如铜或玻璃)制成的尺基上镀一层Ni—Co—P或Ni—Co磁性薄膜，然后录制而成。磁头一般用片簧机构固定在磁头架上，工作中磁头架沿磁尺的基准面运动，磁头不与磁尺接触。尺型磁栅主要用于精度要求较高的场合。 同轴型磁栅是在Φ2mm的青铜棒上电镀一层磁性薄膜，然后录制而成。磁头套在磁棒上工作，如图8-19(b)所示，两者之间具有微小的间隙。由于磁棒的工作区被磁头围住，对周围的磁场起了很好的屏蔽作用，增强了它的抗干扰能力。这种磁栅传感器结构特别小巧，可用于结构紧凑的场合或小型测量装置中。 图8-19 磁栅结构 a）尺型； b）同轴型； c）带型 当量程较大或安装面不好安排时，可采用带型磁栅，如图8-19(c)所示。带状磁尺1是在一条宽约20 mm、厚约0.2 mm的铜带上镀一层磁性薄膜，然后录制而成的。图中2为软垫(常用泡沫塑料)，3为防尘与屏蔽罩，4为上压板，5为拉紧块。带状磁尺的录磁与工作均在张紧状态下进行。 二．磁头 磁栅上的磁信号由读取磁头读出，按读取信号方式的不同，磁头可分为动态磁头与静态磁头两种。 1．动态磁头 动态磁为非调制式磁头，又称速度响应式磁头，它只有一组线圈。图8-21(a)所示为动态磁头的实例，其铁芯由每片厚度为0.2 mm的铁镍合金(含镍80％)片叠成。 当磁头与磁栅之间以一定的速度相对移动时，由于电磁感应将在磁头线圈中产生感应电动势。当磁头与磁栅之间的相对运动速度不同时，输出感应电动势的大小也不同，静止时，就没有信号输出。因此它不适合用于长度测量。 图8-21 动态磁头结构与读出信号 （a）动态磁头结构； （b）读出的信号 2．静态磁头 静态磁头是调制式磁头，又称磁通响应式磁头。它与动态磁头的根本不同之处在于，在磁头与磁栅之间没有相对运动的情况下也有信号输出。 (1)读出原理。 图8-22所示为静态磁头对磁栅信号的读出原理。静态磁头有两个绕组，励磁绕组W1产生磁通Φ1，输出绕组W2读取磁栅上的信号磁通Φ0。磁栅漏磁通Φ0的一部分Φ2通过磁头铁芯，另一部分Φ3通过气隙，则 图8-22 静态磁头的读出原理 一般情况下，可以认为Rσ不变，则RT与励磁线圈所产生的励磁磁通Φ1有关。铁芯P、Q两段的截面很小，在励磁电压u变化的一个周期内，铁芯被励磁电流所产生的磁通Φ1饱和两次，RT变化两个周期。 在磁栅不动的情况下，Φ0为一常量，输出绕组中产生的感应电动势e0为 e0=N2(dΦ2／dt)=2N2Φ0a2ωcos 2ωt=kΦ0cos 2ωt (8-13) 式中，N2为输出绕组匝数；k为常数，k=2N2a2ω。 漏磁通Φ0是磁栅位置的周期函数。当磁栅与磁头相对移动一个节距W时，Φ0就变化一个周期。因此Φ0可近似为 Φ0=Φmsin(2π x／W) 于是可得 e0=kΦmsin(2π x／W)cos2ωt (8-14) 式中，x为磁栅与磁头之间的相对位移；Φm为漏磁通的峰值。 由此可见，静态磁头的磁栅是利用它的漏磁通变化来产生感应电动势的。静态磁头输出信号的频率为励磁电压频率的两倍，其幅值则与磁栅与磁头之间的相对位移成正弦(或余弦)关系。 8.3.2信号处理方式 动态磁头利用磁栅与磁头之间以一定的速度相对移动，来读取磁栅上的信号，将此信号进行处理后使用。例如某些动态丝杠检查仪，就是利用动态磁头读取磁尺上的磁信号，作为长度