材料测试技术基础 材料现代研究方法 第十章 扫描电子显微镜与电子探针显微分析.pptVIP

能谱定性分析 X射线能谱定性分析与定量分析相比，虽然比较简单、直观，但也必须遵循一定的分析方法，能使分析结果正确可靠。 一般来说，对于试样中的主要元素（例如含量＞10％）的鉴别是容易做到正确可靠的；但对于试样中次要元素（例如含量在0.5-10％）或微量元素（例如含量＜0.5％）的鉴别则必须注意谱的干扰、失真、谱线的多重性等问题，否则会产生错误。 波谱定性分析 由于波谱仪的分辨率高（表8-2），波谱的峰背比至少是能谱的10倍，因此对一给定元素，可以在谱中出现更多的谱线。 此外，由于波谱仪的晶体分光特点，对波长为?的X射线不仅可以在 ?＝?B处探测到n＝1的一级X射线，同时可在其它?角处探测到n = 2，3……的高级衍射线。 同样，在某一 ?＝?B 处，n＝1，?＝?1的X射线可以产生衍射；n＝2，?＝?1/2的X射线也可以产生衍射，如果波谱仪无法将它们分离，则它们将出现于波谱的同一波长（?角）处而不能分辨。 波谱定性分析 例如SK? (n＝1) 线存在于0.5372 nm处，而CoK? (n＝1) 存在于0.1789 nm处，但CoK? (n＝3) 的三级衍射存在于3?0.1789 nm＝0.5367 nm处，因而，SK? (n＝1) 线和CoK? (n＝3) 线靠得非常近而无法区分。 但是，SK?和CoK?具有不同的能量，它们将使X射线探测器输出不同电压脉冲幅度。CoK?的电压脉