第五章 有序纳米结构及其应用.pptVIP

纳米材料学基础第五章 王晓冬 河南理工大学 材料学院 wangxd0863@ 关于有序纳米结构 有序纳米结构：是指由零维、一维纳米材料构筑的，在长程范围内具有一定排布规律，有序稳定的纳米结构 一直以来，科学家都梦想对纳米材料的可控制备，有序纳米结构的出现，实现了这个梦想。因为它更强调按照人们的意愿设计、组装、开发纳米材料 因此，有序纳米结构组装体系是今后纳米材料合成研究的主导领域，是将纳米材料走向器件应用的关键一步 微型器件的纳米加工技术有2种方式： 自上而下： 主要是用于制造存储器和CPU等半导体的微细加工，利用光线和或电子束等消除大片材料，最终留下所需要的微细图形结构 自下而上： 通过人工手段把原子或分子层层淀积，来形成新的晶体结构（人工晶体）从而造出新的物质或新的器件 主要内容 1、纳米刻蚀技术 纳米刻蚀技术是一种微细加工技术 它的发展将加工精度从微米级提高到纳米级，这种技术的突破对信息产业和其它相关产业带来一场深刻的革命，由此获得的经济价值是难以估量的 纳米级加工是将待加工器件表面的纳米结构单元、甚至是原子或分子作为直接的加工对象，因此，其物理实质就是切断微观粒子的结合，实现原子和分子的去除和增添 故纳米加工的发展为各种新颖的电子学、光学、磁学、力学纳米功能器件的开发提供了广阔前景 极紫外光刻（EUVL）和X射线光刻（XRL）