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第9卷第2期 电 机 与 控 制 学 报 V01．9No．2 C 2005年3月 ELECTRIMACHINESANDCONTROL 三维精密定位工作台的控制系统的研究 孟兆新， 胡乃文 (哈尔滨理工大学机械动力工程学院，黑龙江哈尔滨150080) 摘要：对三维精密工作台快速定位系统的控制原理及结构组成进行了研究，并对系统进行理论 和实验分析。为了实现高精度的快速定位，系统采用了独立伺服控制技术以及变结构的PID自适 应控制算法，达到了满意的定位精度。 关键词：精密定位；工作台；控制系统 中图分类号：TH703．8；TP273文献标识码：A 文章编号：1007—449X(2005)02—0148—03 The oncontrol of3D study system precisionpositioningstage MENG Nai—wen Zhao—xin，HU ofScienceand (Mechanical＆PowerEngineeringCollege，HarbinUniversity Technology，Harbin150080，China) studiesthework andstructureofthe of Abstract：This paper principle rapidprecisionpositioningsystem 3D control the theoreticaland methods． precisionstage’S system，andanalyzessystemby experimental The the servocontrol andvariablestructurePID control systemadoptedindependent technique adaptive to out and resultis algorithmcarryhighprecisionrapidpositioning．Thesatisfying． Key positioning；stage；controlsystem words：precision 灵敏度，控制简单可靠。精密定位工作台的工作原 1 引 言 理图如图1所示。本系统由2个单片机电路、三轴 目前在多种机械设备中均需要精密定位，而其 双频激光测量电路、接口电路、工作台方式选择电 中的三维精密定位工作台作为关键部件将直接影响 路、D／A转换器、速度伺服放大电路、直流伺服电机 其整机的性能和精度。为保证机器性能，工作台要 一测速机组、微动台压电陶瓷驱动放大电路、0方向 在x方向和Y方向实现快速准确的定位，并且要求 电机驱动放大电路和保护电路等组成。 在0方向能够实现精确调整和定位，要实现高精度 在控制系统中，采用速度和位置闭环控制，在控 和高速度的要求，必须对工作台的控制系统进行改 制方法上选择了变结构自适PID控制，以达到时间 良设计。本文对超精密加工机床中的精密定位工作 最短和误差最小的最佳控制。考