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2005年1月
中文摘要
ZnO为直接带隙宽禁带半导体材料,可作为蓝绿波段光电子设备和半导体激
光器件的基础材料。利用阳极氧化法制备的多孔氧化铝可以作为制各多种纳米复
Anodic
合材料的模板。本文主要对多孔氧化铝膜的生长规律和ZnO/PAA(Porous
Alumina)组装体系的发光性质进行了研究。
通过对多孔A1。O。模板进行扫描电镜(SEM)和x光衍射的测试,我们观察到
多孔A1。0。模板的孔洞在微米范围内呈有序的六角排列(但随电解液种类不同,
有的孔洞在观察的时间内排列还不够规则),孑L洞的生长方向与铝基体的表面垂
直,彼此平行:而A1。0。膜本身的结构是非晶态的。我们进一步研究了多孔A1。oa
膜的生长规律,发现随着阳极氧化电压的增大,氧化铝模板的孔间距和孔径都与
电压呈线性关系地增大;采用不同种类的电解液所制备的氧化铝模板的颜色不
同,草酸制备的模板呈黄色,而以磷酸和铬酸电解液制备的模板为淡蓝紫色,去
除铝基底后的氧化铝膜是透明的:阳极氧化时间越长,氧化膜的厚度就越厚,孔
洞的排列越趋向周期性的规则排列,表明多孔氧化铝膜的孔洞按“自组织”方式
生长;阳极氧化的温度要尽可能得低,温度高于20℃,模板表面就会起泡,从
而损坏模板。
采用溶胶一凝胶法,在多孔A1203模板的孔洞内成功地掺入纳米ZnO发光
材料,我们研究了多孔氧化铝模板对ZnO发光性能的影响。我们得到如下主要
结果:
来源于多孔A1203膜内存在着大量的氧离子单空位(F+心)。
带,退火后比退火前的模板发光谱线的这种“蓝移”,主要是因为退火减小了氧
化铝模板内部的应力;发光峰的强度随退火温度的升高而降低,这是因为扩散进
入模板的氧与模板内的氧空位复合,从而导致氧空位浓度减小;另外,我们观察
到在大约500。C以上的温度退火后,A1203模板的发光消失,这是因为氧空位缺
陷(F+心)的消除。
(3)对于纳米ZnO/PAA组装体系,不同退火温度对其发光性能产生不同的影
的多孔A1203模板的荧光谱发生了“继续蓝移”,发光峰移至445nm附近;当退
火温度高于500℃时,发光峰又发生了“红移”,这种“继续蓝移”和“红移”
的现象,都是ZnO纳米颗粒量子限域效应的结果。纳米ZnO/PAA组装体系的发
光强度随退火温度的升高而增强,至700℃时最强。
关键词: 阳极氧化法,多孔A1203膜,溶胶一凝胶法,ZnO,发光
ABSTRACT
ZnOisawide semiconductor forlaserdiodesand
band—gap material,suitable
devices inblue-green alumina
optoelectronicoperating spectralregion.Theporous
filmsCan usedtofabricateassemblesof kindsnano—materials.Inthis
be many of
themechanismof ofanodic andthe
studied growth alumina characteristics
paper,we
anodic
ofZnO loadedinto aluminahosts.
ofphotoluminescencenano—particlesporous
themeasurementsof films electron
Through A1203byscanning
and diffraction.itWaSfound
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