纳米孔阵列阳极氧化铝膜的制备与表征.pdfVIP

Y654642 纳米孔阵列阳极氧化铝膜的制备与表征 凝聚态物理专业 研究生 叶军 指导老师 赵北君 纳米结构材料是纳米科学技术研究领域的一个热点。模板法是制备纳米结 构材料是一种方便、可靠的技术。它是在20世纪90年代发展起来的前沿技术， 也是近几年来广泛应用的一种非常有吸引力的纳米结构制备方法。由于阳极 氧化铝膜 (Anodicaluminamembranes,简称:AAM)带有呈六边形排列的纳 米孔阵列的理想结构，并且AAM具有较高的的化学稳定性和热力学稳定性以 及它具有和现有微电子工艺兼容的特点，使其迅速成为制备纳米结构材料的 理想模板。 本论文首先对铝金属的物性进行了比较详细的研究，然后通过铝片进行阳 极氧化制备阳极氧化铝膜，接着对膜进行了比较诊细的结构与形貌表征，证 明我们成功制备了纳米孔阵列从M,最后对这种膜的成膜机理与影响因素进行 了深入分析。 主要研究成果与结论如下: (1)铝片在草酸、硫酸和磷酸等酸性溶液中阳极氧化都能得到纳米孔阵列 从M膜。在不同阳极氧化条件下制备出具有不同孔径、孔密度、孔深度的纳米 孔阵列模板。 (2)研究了铝片纯度，铝片热处理、电解液种类、电解液温度、阳极氧化 电压、阳极氧化时间、扩孔时间等对制备的AAM中孔的大小、密度、深度的影 响关系，并且提出草酸是制备纳米孔阵列从M的相对方便与可靠的电解液。从 理论和实验上为制备可人为控制形貌的纳米孔阵列AAM模板提供了依据。 (3)使用SEM,AFM,XRD对AAM进行表征，结果表明我们制备的AAM具有有序 排布的纳米级的孔阵列结构，膜胞呈现六边形规则结构。阳极氧化铝膜(AAM) 具有孔分布均匀等特点，是制备形状高度均匀、有序纳米电子材料的理想模 板。 (4)深入研究了成膜机理，分析了从M的生成过程和六边形膜胞结构的生成 机理，以及孔垂直基底生成的过程。 本论文研究工作是四川大学材料系承担的教育部博士点基金 “硒化锅纳米 线阵列膜及其特性研究”课题的部分内容，研究结果可用于硒化福纳米线阵 列的沉积，并可进一步开发制备其它新型纳米结构材料。 关键词:阳极氧化铝膜(AAM)纳米孔阵列制备表征模板 PREPARATIONANDCHARACTERIZATIONOF ANODICALUMINAMEMBRANESWITHNANO-PORE ARRAYS Specialty:CondensedMatterPhysics MasterCandidate:YeJur Tutor:Prof.ZhaoBeijun Nano-structurematerials,startedat 1990，areapointof nano-materialscience.Thetemplatetechniqueisakindofup-to-date methodinfabricatesmaterials,whichownsalotofadvantagesmore thanothermethodswhenitisusedinpreparationofnano-structure materials.Theuniquestructurefeaturesanditsthermal,chemical stabilityanditscompatiblewithpresentmicroelectronicstechnology makeanodicaluminamembranes (abbreviatedasAAM)becomeideal templatesforthefabricationoforderednano-structures. Inthisdissertation,firstofall,studythecharactersofAl particularly.ThenpreparationtheAAM.Afterthat,AAMwasstudied intensively. Themainresultsandconclusionscanbesummari