飞秒激光双光子三维微细加工系统研究.pdf

摘要 飞秒激光双光子微细加工是利用强聚焦飞秒激光诱导材料发生显著的双光 子激发，进而实现复杂三维结构的微纳米加工。作为一种新兴微细加工技术，飞 秒激光双光子微细加工技术以其特有的真正三维加工能力，亚微米级的分辨率等 特点，『F逐渐引起国内外微细加工领域的重视。本文基于高水平大学建设重点科 研项目和国家自然科学基金项目(No资助，研制了一套飞秒双光子三 维微细加工实验系统，对双光子加工原理，进行了较为深入的研究，并取得了一 系列实验结果。本文的主要成果如下： 1．自行设计搭建了一整套飞秒双光子三维微细加工系统。其中包括作为光 源的钛宝石飞秒激光系统，用来控制曝光量的光路开关，实时监控系统，和实现 系统协调工作的控制软件。 2．在对材料的非线性效应、双光子激发形式、双光子吸收截面、双光子激 发速率等方面进行了深入研究的基础上，分别从激发光强和自由基浓度两个方面 对系统进行了分辨率的理论建模。并作了相关的实验验证。 3．在完成了相应的工艺实验得到最优的工艺参数的基础上，对于不同材料 进行了三维微细加工试验，得到一系列三维微结构，采用大粘滞系数的负性光刻 胶s一3我们成功的加工出齿轮轴微系统和光子晶体。这些实验结果充分显示了飞 秒激光双光子的三维加工能力。 关键词：双光子激发 飞秒激光 三维微细加工 微系统 Abstract tOinduce material laserwasused The femtosecond photosensitive focusing strong excitationwhich three—dimensional obvious throughcomplex two—photon developing microfabrication akindofnew couldbefabricated．As technology，two structures of true3D becauseits research more moreand microfabricatonattracts pboton resolution theaidof University fabrication power．With High·level ability，sub．micron and femtosecondlaser 3D Construction NSFC(No，atwo—photon Program lab．Severaltechnical inour microfabrication wasconstruc